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1、 第一章 激光器原理 可以肯定地說：本世紀最后的偉大發(fā)明之一是激光技術(shù)。它自一九五八年問世以來，已經(jīng)逐步地然而是堅定地滲透到了科研、軍事、工業(yè)等各個領(lǐng)域。不是嗎？看看我們的周圍，你就可以輕易地找到它應(yīng)用的實例：醫(yī)院中的激光診斷及激光治療機、商店中的條碼識別器、辦公室中的激光打印機、把我們與世界各地聯(lián)結(jié)在一起的光纖等等，就是在我們的家中也有它的身影：激光唱機、激光影碟機。 人類發(fā)明了多種多樣的激光器。諸如：氣體激光器（He-Ne激光器、CO2激光器等）、固態(tài)晶體激光器（紅寶石激光器、釹玻璃激光器等）、離子激光器（氪離子激光器、氬離子激光器等）、染料激光器（甲酚紫激光器、螢光素激光器等

2、）、超輻射激光器（氮分子激光器等）以及半導(dǎo)體激光器（砷化鎵半導(dǎo)體二極管等）等等。 在世界的許多地方，幾乎所有的商品激光器都在制造業(yè)中得到越來越廣泛的應(yīng)用。CO2激光器的主要用途就是各類工業(yè)激光加工設(shè)備，作為固態(tài)晶體激光器的Nd: YAG（摻釹釔鋁石榴石）激光器的最大應(yīng)用便是在激光打標領(lǐng)域。 1.1　激光原理 我們知道，物質(zhì)是由原子組成的，而原子是由帶正電的原子核和帶負電的核外電子組成的（見圖1.1）。每一個電子都沿著自己特定的軌道繞原子核高速旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)半徑?jīng)Q定于電子所處的能級。原子吸收能量后，電子的旋轉(zhuǎn)半徑會增加，電子的能級就會提高；原子釋放能量后，電子的旋轉(zhuǎn)半徑會減小，電子的

3、能級就會降低。每個能級對應(yīng)著一個特定的能量。電子所具有的能量是不連續(xù)的，也就是說原子的能級是量子化的。原子只有吸收了兩個能級之間差值的能量才會提高一個能級，電子在能級之間的變動現(xiàn)象稱為躍遷。同樣，當(dāng)原子躍遷到較低能級時，會釋放出兩個能級之間差值的能量。原子的最低能級為E0，高的能級依次為E1、E2、E3、……，高的能級稱為上能級，低的能級為下能級。處在能級E0的原子稱為基態(tài)原子，其它能級稱為激發(fā)態(tài)（見圖1.2）。 原子可以吸收光子來獲得能量，當(dāng)然這個光子必須具有與原子能級差相等的能量（例如：E1-E0）原子只能吸收帶有幾個能量的光子。光子的能量決定于光子本身的波長。所以，原子只能吸收幾個特定

4、波長的光子。 正常情況下，原子吸收能量后會在上能級停留一段時間（這一時間被稱為原子的上能級壽命），然后向任意一個方向發(fā)射一個光子并返回基態(tài)。這一現(xiàn)象稱為原子的自發(fā)發(fā)射。對這一現(xiàn)象，圖1.3作了形象的描述。 圖1.1 原子的結(jié)構(gòu) 圖1.2 原子的能級 若在激發(fā)態(tài)原子的附近，恰巧有一個光子經(jīng)過，這個光子又恰好具有原子上下能級之差的能量，那么這個原子就有可能受到外來光子的激勵而發(fā)出一個光子，原子自身則在發(fā)射后返回基態(tài)。原子的這種因受到外來激勵而發(fā)射的情況，稱為原子的受激發(fā)射（圖1.4）。原子受激發(fā)射所放出的光子與外來的激勵光子在能量、波長、相位等方面完全相同。 .

5、 . 以上是單個原子能級的變化情況。 對于大量原子的情況，在通常條件下，大多數(shù)原子總是分布在基態(tài)上，其余原子總是從低能級到高能級遞減分布。這一分布規(guī)律就是通常所說的波爾茲曼分布。在圖1.5中，縱坐標表示原子的能級，橫坐標表示在各能級上原子的分布數(shù)量。如果我們加熱這些原子，會使處于上能級的原子數(shù)量有所增加。但不管如何加熱這些原子，在原子群達到新的熱平衡后，上能級的原子數(shù)量總是少于下能級的原子數(shù)量。若我們想辦法強迫下能級的原子躍遷到上能級，而同時保證上能級的原子不很快地發(fā)射而返回到下能級，就會人為地造成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。這時再用激勵光子去激勵上能級原子，使其產(chǎn)生受激 圖1.5 原子在各

6、能級上的分布 發(fā)射。在受激發(fā)射的同時，要設(shè)法使下能級的原子持續(xù)地躍遷到上能級，以維持粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，使受激發(fā)射能夠持續(xù)地進行下去。受激發(fā)射所產(chǎn)生的光子都具有相同的波長、方向及相位，所以受激發(fā)射的光是很強的。這就是激光。激光這個詞是從英文原文“LASER”一詞翻譯過來的，它的完整的英文原文是“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation” (光輻射受激發(fā)射放大)，“LASER”是它的縮寫。簡單地說：激光器的實質(zhì)是一個光放大器。 在實踐中，要想產(chǎn)生激光，就必須滿足兩個條件：首先找到能夠?qū)崿F(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)的工作物質(zhì)，也就是激光介質(zhì)；第

7、二要建立一個諧振腔，使某一個頻率的能量源（可以是諧振腔外的，也可以是諧振腔內(nèi)的）在腔內(nèi)諧振，在激光介質(zhì)中多次往返時，有足夠的機會去激勵（泵浦）處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài) 圖1.6 激光的產(chǎn)生示意圖 的激光介質(zhì)。只有這樣，才能產(chǎn)生激光。這些受激發(fā)射的光子又去激發(fā)其它原子，一個變兩個、兩個變四個、四個變八個、……，產(chǎn)生連鎖反應(yīng)，光強被雪崩似地放大。因而產(chǎn)生強烈的激光。 通常是在激光介質(zhì)的兩端各放置一個反射鏡來組成諧振腔，以形成光學(xué)反饋。它的作用是將那些沿介質(zhì)長軸發(fā)射的光子反射回介質(zhì)中。兩個反射鏡中的一個被有意作成可以透過一個很小百分比的光強（在激光器中被稱為前鏡，相應(yīng)的另外一個反

8、射鏡被稱為后鏡），這就是激光輸出（見圖1.6）。 1.2 激光器原理 1.2.1 Nd: YAG激光器原理 Nd: YAG激光器是固態(tài)晶體激光器的一種，它采用Nd: YAG晶體棒作激光介質(zhì)。Nd: YAG晶體是將激光介質(zhì)釹(Nd)原子摻在生晶體釔鋁石榴石(YAG)中，Nd原子在YAG中的最佳含量約為總重量的1％。所以，Nd: YAG晶體的全稱是摻釹釔鋁石榴石晶體。Nd: YAG晶體一般被制作成棒狀，這種材料的制作是很困難的，且價格昂貴。但由于它具有良好的光學(xué)性能、機械性能和熱學(xué)性能，所以是高功率激光器的最佳選材之一。 之所以采用氪燈作為激勵用的泵浦源，因為它可以發(fā)出

9、波長為0.73μm和0.8μm的光線，用這一波長的光來激勵Nd原子是最為有效的。 將Nd: YAG晶體棒與氪燈并排放置在一個橢圓型的光學(xué)腔內(nèi)，光學(xué)腔的內(nèi)表面形狀是經(jīng)過精心設(shè)計的，以便保證氪燈發(fā)出的泵浦光能夠全部聚集到Nd: YAG晶體棒的中心軸上。由一個反射率為100％的反射鏡作后鏡，前鏡的反射率為精心設(shè)計的90％（透過率為10％），它們共同組成光學(xué)諧振腔，以實現(xiàn)光學(xué)諧振。 Nd（釹）原子的能量轉(zhuǎn)移過程分為四步(在圖1.7中對這一過程有詳細 圖1.7 Nd: YAG激光器原理圖 的描述)，第一步：Nd原子在氪燈發(fā)出的波長為 0.73μm和 0.8μm泵浦光的激勵下，處于

10、基態(tài)的Nd原子躍遷到兩個上能級中的一個，原子在這里的上能級壽命非常短，大約只有10-7 秒，這里稱這一能級為激發(fā)態(tài)；第二步：原子在激發(fā)態(tài)迅速地進行一次無發(fā)射的躍遷，到達另一個上能級，原子在這里的上能級壽命較長，大約為10-4 秒，這一能級稱為亞穩(wěn)態(tài)，原子在這里形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)；第三步：當(dāng)原子在這里受激而躍遷到達下能級時，就會發(fā)射出波長為 1.06μm的光子，這就是激光；第四步：原子在這里再發(fā)生一次無發(fā)射的躍遷到達基態(tài)，準備重復(fù)上述過程。 1.2.2 CO2激光器原理 CO2是三原子結(jié)構(gòu)的線性分子，它有三種振動方式，如圖1.8所示。第一種叫做對稱振動（如圖1.8a所示），其對應(yīng)的振動

11、能量叫做對稱振動能量，其能級相應(yīng)地稱為對稱振動能級。第二種叫做反對稱振動（如圖1.8b所示），其對應(yīng)的振動能量叫做反對稱振動能量，其能級相應(yīng)地被稱為反對稱振動能級。第三種叫做形變振動，又叫彎曲振動（如圖1.8c及c,所示），這種振動有上下、前后兩種形式，這種振動的能量叫做形變振動能量，能級被稱為形變振動能級。 圖1.8 CO2分子的振動方式 CO2分子有幾個上能級，其中只有一個上能級在躍遷時可以產(chǎn)生波長為10.6μm的激光，我們不妨把這一能級叫做激光能級（屬于反對稱振動能級）。由于CO2分子的上能級壽命長，而且CO2激光器的激光能級與基態(tài)靠得很近，從而使它有高的效率、低

12、的激勵能量，并且很容易獲得并積聚大量的受激分子，從而得到高功率、高效率的激光器。 建立CO2激光器能級間粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，把分子激發(fā)到高能級，一般有以下幾個基本過程： ⒈電子直接激勵：放電中具有一定動能的電子同處于基態(tài)的CO2分子碰撞，把分子從基態(tài)直接激發(fā)到激光能級。 ⒉串級躍遷：處于比激光能級更高的其它反對稱上能級也和基態(tài)能級有聯(lián)系，因此動能較高的電子和基態(tài)的CO2分子相碰撞時，也能把分子激發(fā)到這些能級上去，在這些能級上的分子很容易躍遷到激光能級上來，這是因為它們都是反對稱振動能級，而激光能級又是其中最低的一個。在較高能級的分子是不穩(wěn)定的，它們總是力圖向較低能級躍遷，因此在激光能級就會積聚大

13、量的粒子，這就是所謂串級躍遷。 ⒊諧振碰撞：處于更高反對稱振動能級上的分子還可以通過與基態(tài)CO2分子的碰撞，把能量交給后者使其激發(fā)到激光能級，而自己成為低一級的反對稱振動能級分子。這一類碰撞是諧振的，發(fā)生的幾率很大，對增加激光能級的粒子數(shù)有很大的貢獻。 ⒋復(fù)合過程：在CO2分子放電過程中，有部分CO2分子分解為CO和O，同時也存在部分CO和O復(fù)合成CO2分子的過程，在它們復(fù)合時會把原來分解時吸收的能量放出，因此復(fù)合而成的CO2分子就會被這部分能量激發(fā)到激光能級。 以上這四種基本過程是CO2分子被激發(fā)到激光能級去的四條途徑。另外，為實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)以便產(chǎn)生受激輻射，還必須抽空下能級。 CO

14、2激光器按激勵方式可分為橫向激勵激光器、氣動激光器、化學(xué)激勵激光器、射頻激勵激光器，等等。  第二章 激光打標機的種類 一般地說，激光打標機是在計算機的控制下，使被打標的工件與激光束產(chǎn)生受控相對運動，激光束就會在工件表面燒蝕出需要的符號和圖案。 顯然，產(chǎn)生這種相對運動可以有兩種方式：一種是激光束固定，工件運動；還有一種是工件固定，激光束運動。 對于前一種方式，一般采用兩維機械數(shù)控（或計算機控制）工作臺拖動被打標工件，工件在工作臺的拖動下按照事先設(shè)計好的軌跡運動，在固定不動的激光束的燒蝕作用下，工件表面就會留下永久的痕跡（見圖2.1）。這種打標方式我們稱之為“工作臺式”。采用這

15、種方式的打標機最大的優(yōu)點是： 圖2.1 “工作臺式”激光打標機的原理示意圖 價格相對低廉，但受機械運動機構(gòu)設(shè)計的限制打標速度慢，很難進行精細文字及圖案的打標（若要實現(xiàn)精細打標，價格低廉的優(yōu)點將不復(fù)存在，且非常困難），更無法對照片進行打標。 對于后一種方式，常用的有兩種方法： ⒈利用兩個聯(lián)動的光學(xué)反射鏡，使激光束發(fā)生偏折。激光器射出的激光束照在第一面反射鏡上，在水平方向折射90后照射在第二反射鏡上，第二反射鏡使激光束向下反射通過聚焦透鏡后在工件表面聚焦，該透鏡與第二反射鏡是固定在一起的。第一反射鏡沿激光器的軸線運動，運動時帶動第二反射鏡，第二反射鏡沿反射后的激光束運動，這兩個運動受計

16、算機控制。這兩個運動的合成就是事先要求的標記圖樣的軌跡（見圖2.2）。這種打標方式我們稱之為“繪圖儀式”，因為它的工作方式類似于筆式繪圖儀。又由于在打標過程中，兩個反射鏡帶著激光束做大范圍的運動，就象激光束在飛來飛去，所以又有人稱之為“飛行光學(xué)式”打標機。與“工作臺式”激光打標機相比，它的運動機構(gòu)變得輕巧，構(gòu)造更加簡單，但由于在打標過程中激光光束的光程是不斷變化的，最終作用在工件表面的光斑質(zhì)量難以一致。這種形式的激光打標機在不降低激光光斑能量密度的情況下，打標范圍容易做得很大，但 圖2.2 “繪圖儀式”激光打標機原理示意圖 難以對精細圖案進行打標，打標速度較慢。 ⒉利用振鏡掃

17、描器使激光束發(fā)生偏轉(zhuǎn)及運動。由激光器射出的激光束順序投射到第一、第二振鏡掃描器上，它們分別使激光束在平面的X、Y兩個方向上掃描，在計算機的控制下，激光束經(jīng)聚焦透鏡聚焦后就會在平面上掃描出所要求的圖案（見圖2.3）。這種打標方式我們稱之為“振鏡掃描式”，它的最大優(yōu)點是打標速度快，打標精細，可以處理各種精細文字、圖案的打標，缺點是造價較高，很難擴大打標視場。但由于它打標速度快，打標精細，已經(jīng)成為激光打標機的主流產(chǎn)品。 圖2.3 “振鏡掃描式”激光打標機工作原理示意圖 激光打標機還可按照所選用的激光器類型來分類，諸如：CO2 激光打標機、Nd: YAG激光打標機等等。 YAG系列激

18、光打標機屬于振鏡掃描式Nd: YAG打標機，它采用的是Nd: YAG激光器。該類打標機一般由激光器及電源、聲光Q開關(guān)及驅(qū)動電源、振鏡掃描器及驅(qū)動電源、光學(xué)系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)、打標機專用D/A轉(zhuǎn)換控制器、專用水循環(huán)制冷系統(tǒng)等組成；CO2系列激光打標機屬于振鏡掃描式CO2打標機，它采用的是射頻激勵CO2激光器。該類打標機一般由激光器及電源、振鏡掃描器及驅(qū)動電源、光學(xué)系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)、風(fēng)冷卻或水循環(huán)系統(tǒng)等組成。  第三章 激光輸出的調(diào)制 3.1 聲光Q開關(guān) 對于采用Nd: YAG 激光器的JBJ系列激光打標機來說，聲光Q開關(guān)是必不可少的。它是通過在光學(xué)反饋路徑上交替地開

19、啟和阻斷光路來形成激光脈沖的一種設(shè)備?！癚”是英文“Quality”（品質(zhì)）的縮寫，它的意思是指光學(xué)諧振腔中光學(xué)反饋的品質(zhì)。在激光打標系統(tǒng)中，聲光Q開關(guān)經(jīng)常作為附屬光學(xué)器件加到光學(xué)諧振腔內(nèi)。 聲光Q開關(guān)由對激光束透明的材料（如水晶等）制成，它的側(cè)面粘合了一個壓電聲學(xué)換能器，在該壓電聲學(xué)換能器上加有射頻信號，該射頻信號的頻率被調(diào)制為1～50kHz。 當(dāng)沒有電信號時，Nd: YAG晶體中發(fā)出的光束可以直接通過聲光Q開關(guān)，被后反射鏡反射后通過聲光Q開關(guān)又回到晶體，Q開關(guān)不起作用。當(dāng)有信號加在聲光換能器上時，換能器將產(chǎn)生聲波，聲波作用在水晶上而壓迫水晶，這將使水晶的折射率發(fā)生變化，從Nd: YAG

20、晶體中發(fā)出的光在通過聲光Q開關(guān)時將被折射而偏離后反射鏡。由于用于受激發(fā)射的光反饋消失了，激光產(chǎn)生的過程也就中斷了（如圖3.1所示）。 圖3.1 聲光Q開關(guān)工作原理示意圖 Nd是一種十分難得的優(yōu)質(zhì)激光介質(zhì)，它的上能級壽命相對較長，達到了10-4秒。當(dāng)射頻信號使Q開關(guān)破壞了光學(xué)諧振腔的諧振條件從而阻斷激光輸出時，它的內(nèi)部仍然在吸收氪燈發(fā)出的光能而形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，由于較長的上能級壽命，受激原子不會很快回到下能級。在沒有激光輸出期間，上能級積聚了極大的能量，當(dāng)射頻信號一旦取消而恢復(fù)光學(xué)反饋時，將會產(chǎn)生數(shù)千瓦的激光峰值功率輸出。Q開關(guān)為在功率較低的激光器上產(chǎn)生高峰值功率短脈寬的激光脈沖提

21、供了極好的方法。 YAG系列激光打標機采用的聲光Q開關(guān)是由熔石英制成的，采用LiNbo3單晶作壓電聲學(xué)換能器。為了提高聲光Q開關(guān)對Nd: YAG激光的透過率，在熔石英的兩個通光面表面鍍1.06μm硬增透膜。 3.2 激光脈沖控制器 對于采用射頻激勵CO2激光器的CO2系列激光打標機來說，有沒有激光脈沖控制器似乎都可以對工件進行打標加工。但實踐證明，加有激光脈沖控制器的激光打標機打標質(zhì)量明顯提高，對材料的適應(yīng)能力也更好，更能夠滿足激光打標加工的要求。 脈沖控制器的工作原理與聲光Q開關(guān)完全不同，它是用一組電脈沖信號直接控制激光電源，從而改變激光器的輸出波形。達到縮小激光束輸出的輻射

22、方向以及大幅度增加激光輸出的峰值功率的目的。 它的工作原理見圖3.2。 圖3.2 激光脈沖控制器工作原理  第四章 供電及冷卻系統(tǒng) 無論是采用Nd: YAG激光器的YAG系列激光打標機，還是采用CO2激光器的CO2系列激光打標機，供電及冷卻系統(tǒng)都是少不了的。 Nd: YAG激光器所用的泵浦源氪燈，CO2激光器的激光管都需要一個穩(wěn)定、可靠的直流電源，電源的穩(wěn)定性直接影響激光輸出的穩(wěn)定性。Nd: YAG激光器所用的電源還必須包括一個能產(chǎn)生高壓啟動脈沖的點燃電路，以引燃氪燈。 大恒激光生產(chǎn)的激光打標機均采用IGBT開關(guān)電源，由于設(shè)計合理、制作精良，保證了電源的穩(wěn)

23、定性和可靠性。 Nd: YAG激光器所用的泵浦源──大功率氪燈，在發(fā)光過程中會產(chǎn)生大量的熱；CO2激光器在工作時同樣會產(chǎn)生一定的熱量（雖然不如Nd: YAG激光器產(chǎn)生的熱量多）。若不及時將這些熱量去掉，不僅會影響激光器的正常使用和縮短氪燈的使用壽命，更為嚴重的是將會發(fā)生炸腔或損壞CO2激光管的惡性事故，使昂貴的Nd: YAG晶體棒及鍍金腔或CO2激光器報廢。 施加于聲光Q開關(guān)上的射頻信號，被壓電晶體吸收后，一部分能量轉(zhuǎn)變成超聲波，還有一部分變成熱；盡管Q開關(guān)中的熔石英晶體對激光是透明的，但還會吸收一部分光能，這些能量轉(zhuǎn)變?yōu)闊?。這些熱量會燒壞壓電換能器的電極，燒壞壓電換能器，甚至?xí)龎娜凼?/p>

24、晶體。 去除熱量的最有效的方法是加裝一套水循環(huán)裝置，靠水的循環(huán)來帶走熱量。對于Nd: YAG激光器，由于氪燈表面的溫度很高，必須考慮不使氪燈表面結(jié)垢；冷卻水直接流過氪燈表面，水必須有很高的透明度；氪燈的電極上加有高壓，水必須有較高的電阻率。所以必須采用去離子水。對于CO2激光器，冷卻水采用普通水就可以了。為了節(jié)省寶貴的水資源，冷卻水（不管是去離子水還是普通水）應(yīng)該循環(huán)使用，一般的做法是采用一套二次冷卻裝置，以帶走冷卻水所帶出的熱量，一般是采用外接普通水源的辦法。由于采用CO2激光器的激光打標機所產(chǎn)生的熱量較小，二次冷卻多采用風(fēng)冷卻的方式。 第五章

25、 光學(xué)系統(tǒng) 沒有光學(xué)系統(tǒng)，激光打標機是無法正常工作的。針對激光打標機工作方式的不同，光學(xué)系統(tǒng)也是各式各樣的，當(dāng)他們都包括擴束鏡（使激光器發(fā)出的激光束直徑變大并縮小激光束的發(fā)散角）、光學(xué)聚焦透鏡（使作用在工件表面的激光光斑直徑盡可能變?。┖头瓷溏R（用以改變激光束的方向）。 一個70W的連續(xù)激光器所發(fā)出的光能與一個70W的普通燈泡所發(fā)出的光能是差不多的。普通燈泡是被設(shè)計為用來照明的，它發(fā)出的光線是向四面八方照射的，與燈泡不同的是激光器發(fā)出的光線集中在一個很小的范圍。所以激光的能量密度（單位面積上的能量）遠遠大于燈泡的能量密度，實際的打標效果決定于工件表面所承受的能量密度，而不是激光的功率

26、。為了能夠很好地進行激光打標，必須進一步提高激光的能量密度。這有兩個方法：一個是提高激光器的激光輸出功率，一般地說這是困難或得不償失的；還有一個方法是將激光器發(fā)出的激光束進一步變細，這需要一套光學(xué)系統(tǒng)。 使激光束變細是很簡單的，只需有一個聚焦透鏡將激光束聚焦到一個很小的點。激光器發(fā)出的激光并不是理想的平行光，它有一個很小的發(fā)散角，這一很小的發(fā)散角會影響到聚焦透鏡的聚焦效果。所以在聚焦透鏡之前要有一個擴束鏡用以壓低光束的發(fā)散角。擴束鏡除了可以壓低光束的發(fā)散角外，還可以擴大激光輸出光束的直徑。我們知道，聚焦后光斑的大小取決于入射光束直徑和聚焦透鏡的焦距：入射光束直徑越大，聚焦后光斑直徑越小。入射

27、光束直徑的增大，還可以降低激光光路中使激光光束改變方向的反射鏡上的激光能量密度，保證了反射鏡在長時間工作時不被激光束燒壞。 按照聚焦透鏡在光路中相對于反射鏡所處的位置，可以分為前聚焦和后聚焦兩種方式。 下面我們以振鏡掃描式激光打標機為例來介紹激光打標機的光學(xué)系統(tǒng)。 5.1 前聚焦方式 圖5.1 前聚焦方式示意圖 前聚焦方式是因聚焦透鏡比反射鏡更靠近激光器（處在反射鏡的前面）而得名。聚焦透鏡安裝在擴束鏡和振鏡掃描器之間(見圖5.1)，它的最大優(yōu)點是價格較為低廉、且可獲得較大的打標范圍。 這一方式的主要缺點是：光斑直徑較大，這是由于前聚焦方式選用的聚焦透鏡的焦距較長，而聚焦光斑的直

28、徑與聚焦鏡的焦距成正比，這是為了容納振鏡掃描器，聚焦透鏡不得不采用較大的焦距，由此導(dǎo)致打標的能量密度降低。另外，前聚焦方式只能選用普通聚焦透鏡，這種透鏡的焦點位置是鏡頭后方的一個圓弧面，而多數(shù)情況下工件表面是一個平面，當(dāng)光束由打標區(qū)域的中心移至邊緣時，焦點將位于工件平面的上面，工件表面上光斑直徑和能量密度將動態(tài)地發(fā)生變化。另外，當(dāng)反射鏡偏轉(zhuǎn)同一角度時，打標位置分別處于視場中央和邊緣時，激光光斑的位置變化是不一致的。以上這些不足都將影響最終的打標的效果。 對于采用CO2激光器的激光打標機，由于激光波長較長，聚焦透鏡的焦深（當(dāng)工件平面在鏡頭焦平面前后移動，肉眼難以辨別打標效果差別的最大范圍）較大

29、，為了得到較大的打標工作范圍，多采用前聚焦方式。 5.2 后聚焦方式 顧名思義，與前聚焦方式不同的是，后聚焦方式將聚焦透鏡安裝在振鏡掃描器的后面(見圖5.2)。這就避免了前聚焦方式的缺點。它采用的聚焦透鏡是專門設(shè)計的F-θ平場透鏡，不管光束如何移動，它的焦點位置始終保持在一個平面上，保證了在打標區(qū)域內(nèi)光斑大小及能量密度的一致，并且當(dāng)反射 圖5.2 后聚焦方式示意圖 鏡偏轉(zhuǎn)單位角度時，對應(yīng)的焦平面上激光光斑的幾何位移是處處一致的。這些都保障了打標的質(zhì)量的提高。另外，這種方式使更換聚焦透鏡變得很簡單，可以根據(jù)打標范圍的大小和具體要求隨時更換聚焦透鏡。 它的缺點是價格較高，打標范圍相對較?。ǖ梢酝ㄟ^更換透鏡來增大打標范圍）。 由于這種方式可以獲得高質(zhì)量的打標效果，大多數(shù)采用Nd: YAG激光器的振鏡掃描式激光打標機均采用這種聚焦方式。