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1、 硅片堿液清洗設備技術方案書 編 制 審 核 原料加工部： 綜合計劃部： 安環(huán)部： 會 簽 質(zhì)量檢驗部： 人事行政部： 財務部： 批 準 日 期 年 月 日 呼和浩特市歐通能源科技有限公司 目 錄 一、

2、系統(tǒng)要求： 3 二、清洗原理 3 三、設備結(jié)構(gòu)組成 3 四、流程總述 4 五、清洗工藝流程 4 六、設備主要技術參數(shù) 5 1、熱水壓力噴淋清洗工位 5 2、堿液刷洗工位 5 3、壓力噴淋漂洗工位 5 4、吸水輥吸水工位 6 5、風刀切液工位 6 七、系統(tǒng)描述 6 1、上、下料裝置 6 2、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位 6 3、堿液刷洗工位 7 4、吸水輥吸水工位 7 5、風刀切液工位 7 八、安全防護 7

3、九、清潔要求 7 十、整機參數(shù)： 7 十一、設備配送技術資料： 7 十二、售后服務： 8 一、系統(tǒng)要求： a) 清洗對象：硅片； b) 線速度： 0-4 米 / 分； c) 清洗介質(zhì)：自來水、堿性硅片清洗劑； d) 產(chǎn)量： 2 噸/8 小時 二、清洗原理 采用托輥雙動力輸送，上壓輥利用機械高速輥刷法加堿性清洗劑將硅片上下表面的油墨 及雜質(zhì)去除，然后利用高壓水噴洗硅片表面， 將硅片表面殘留的雜質(zhì)及堿性清洗劑沖洗干凈。 三、設備結(jié)構(gòu)組成 該設備至少由

4、上料工位、熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位、 吸水輥吸水工位、風刀切液工位、下料工位、加熱溫控系統(tǒng)、托輥輸送系統(tǒng)、壓輥定位系統(tǒng)、 儲液槽、無紡布過濾系統(tǒng)、機體框架及電氣控制系統(tǒng)等組成。 示意圖如下： 四、流程總述 首先人工將硅片擺在上料工位，由托輥輸送系統(tǒng)將硅片輸送至設備內(nèi)部，在托輥和定位 輥的輸送下依次進入熱水壓力噴淋清洗工位、堿液刷洗工位、壓力噴淋漂洗工位，硅片漂洗 完成后通過

5、吸水輥工位將硅片表面大部分的水分吸走，然后由托輥輸入風刀切液工位，風刀 切液工位將硅片表面殘留的水氣吹干，最后由托輥輸送至下料工位的滑板上，硅片自動掉入 下一工序的上料位。至此完成一個完整的清洗烘干流程。 五、清洗工藝流程 上料工位→熱水壓力噴淋清洗工位→堿液刷洗工位→壓力噴淋漂洗工位→吸水輥吸水工 位→風刀切液工位→下料工位 序號 工序 有效尺寸約 清洗方式 溫度控制 清洗介質(zhì) 傳送方式 1 上料工位 L500×W600mm ---- ---- ---- 人工上料 2 熱水壓力噴 L420×W600m

6、m 高壓噴淋 40-50 ℃ 自來水 托輥傳輸 淋清洗工位 3 堿液刷洗工 L1400× 毛刷刷洗40-50 ℃ 市水 +堿性 托輥傳輸 位 W600mm 清洗劑 4 壓力噴淋漂 L420×W600mm 高壓噴淋 常溫 市水 托輥傳輸 洗工位 5 吸水輥吸水 ---- ---- ---- 托輥傳輸 L350×W600mm 工位 6 風刀切液工 ---- ---- ---- 托輥傳輸 L500×W600mm 位 7 下料工位L

7、200×W600mm ---- ---- ---- 滑板下料 六、設備主要技術參數(shù) 1、熱水壓力噴淋清洗工位 有效尺寸 約 L420mm× W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 上下各設三道噴淋裝置； 結(jié)構(gòu)形式 配儲液槽一個，噴淋泵一臺，噴淋泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡 布用于攔截雜質(zhì)； 工件通過的上方設壓輥定位系統(tǒng)； 溫度控制 儲液槽內(nèi)置加熱管，加熱功率約 6KW，加熱溫度約 50℃左右； 儲液槽中的市水由循環(huán)泵分別注入三道

8、噴淋裝置，噴淋后的水溶液經(jīng) 液體流向 過無紡布過濾后流回儲液槽； 2、堿液刷洗工位 有效尺寸 約 L1400mm×W600mm； 材 質(zhì) 槽體采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 設上下兩道刷洗裝置，共 4 組刷輥，每組刷輥電機功率 1.5KW； 結(jié)構(gòu)形式 配儲液槽一個，循環(huán)泵一臺，循環(huán)泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡布用于 攔截雜質(zhì)； 工件通過上方設壓輥定位系統(tǒng)； 溫度控制 儲液槽內(nèi)設加熱管，加熱功率約 6KW，加熱溫度 40-50 ℃； 儲液槽中的清洗液經(jīng)循環(huán)

9、泵抽取進入堿液刷洗工位，堿液刷洗工位中的液 液體流向 體經(jīng)無紡布過濾后流回儲液槽； 3、壓力噴淋漂洗工位 有效尺寸 約 L420mm× W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 上下各設三道噴淋裝置； 配儲液槽一個，噴淋泵一臺，噴淋泵功率 1.5KW，儲液槽上方配無紡布用于 結(jié)構(gòu)形式 攔截雜質(zhì)； 工件通過的上方設壓輥定位系統(tǒng)； 自來水直接注入第三道噴淋裝置，經(jīng)第三道噴淋后的水溶液經(jīng)無紡布過濾后 直接流進儲液槽，儲液槽中的水溶液由循環(huán)泵抽取后分別注入第一道和第二 液體流向

10、道噴淋裝置，第一道和第二道噴淋后的水溶液由無紡布過濾后流回儲液槽；儲液槽中多余的水溶液通過溢流口直接排進廢液管道。 4、吸水輥吸水工位 有效尺寸 約 L350×W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 結(jié)構(gòu)形式 共設三道吸水輥； 5、風刀切液工位 有效尺寸 約 L500×W600mm； 材 質(zhì) 采用非金屬材料，如 PVC材質(zhì)，厚度 10mm； 封閉風刀室，高壓風刀切液工位，上下風刀吹水，槽內(nèi)設導風板，底部設集 結(jié)構(gòu)形式 水盤，收集切下的清洗液； 風機 配

11、風機 1 臺，風機功率 4KW； 七、系統(tǒng)描述 1、上、下料裝置 上料和下料均采用雙動力傳輸輥，傳動電機功率 0.75KW。下料端設計為帶有一定坡度的 滑板，以保證硅片能夠自動滑落至下一工序。 2、熱水壓力噴淋清洗工位、壓力噴淋漂洗工位 熱水壓力噴淋清洗工位和壓力噴淋漂洗工位均設上下三道噴淋系統(tǒng)，噴淋清洗和漂洗過 程中硅片上部均設有壓輥定位系統(tǒng)，防止硅片漂浮。噴淋清洗時儲液槽中設有加熱管，采用 溫水噴淋有利于硅片表面的清洗。另外噴淋后的液體進入儲液槽之前設有無紡布，能夠有效 將工件表

12、面的雜質(zhì)碎屑攔截，液體重復利用率有效提高。 3、堿液刷洗工位 堿液刷洗工位設上下兩道刷輥，刷洗硅片上方時硅片下部設有托輥輸送系統(tǒng)，刷洗硅片下方時硅 片上部設有壓輥定位系統(tǒng)，防止硅片漂浮。儲液槽內(nèi)設有加熱管，采用溫水加堿性清洗劑進行清洗， 使硅片表面的油墨及雜質(zhì)能夠快速高效的去除。 4、吸水輥吸水工位 設三道吸水輥，該工位能夠?qū)⒐杵砻娲蟛糠值乃治摺? 5、風刀切液工位 吸水輥將漂洗完成后的硅片表面大部分的水分吸走后，硅片進入該工序，高壓風通過風機從風刀 吹出，將硅片表面殘留的水份吹干。

13、 八、安全防護 該設備所有轉(zhuǎn)動部位、有壓力意外釋放部位、容易引發(fā)高溫燙傷部位等，均應進行應有的防護，以及設置緊急停機裝置。 九、清潔要求 該設備所涉及的水槽、滾刷等，均應做到便于拆卸清潔，以及清潔后各部件便于組裝恢 復。 十、整機參數(shù)： 1、 設備外形尺寸約： L4500*W1000*H1180mm 2、 動力總功率約： 15.25KW 3、 加熱總功率約： 12KW 4、 電源： 380VAC/50Hz （三相四線＋地線） 十一、設備配送技術資料： 1、操作使用說明書（含安裝、操作及維修）叁份； 2、產(chǎn)品合格證明書（含產(chǎn)品合格證及保修卡）叁份。 十二、售后服務： 1、設備制作方向現(xiàn)場施工人員提供所需的所有細節(jié)，以便準備現(xiàn)場安裝。 2、設備制作方應到用戶工廠現(xiàn)場安裝設備。 3、設備安裝期間，設備制作方為用戶設備操作人員提供設備的操作、維護保養(yǎng)、緊急事故處 理等技術培訓。 4、設備交付使用后設備制作方無償為用戶提供為期一年的技術支持與服務， 無償為用戶提供 非人為而損壞的設備零件。一年后設備制作方為用戶提供終身技術服務。