用三氯氫硅中總碳

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)硅外延用三氯氫硅中總碳的測定氣相色譜法編制說明一任務(wù)來源硅外延用三氯氫硅TCS是電子工業(yè)用的新型硅源氣體，是廣泛用于生產(chǎn)多晶硅和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵原料。硅外延用三氯氫硅中微量的雜質(zhì)元素會對硅外延片的電學(xué)性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響。硅外延層中微,

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行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《硅外延用三氯氫硅中總碳的測定氣相色譜法》

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用三氯氫硅中總碳

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法》

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