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濕電子化學品產(chǎn)品概述 1.1 電子化學品概述 1.1.1 電子化學品及其分類 電子化學品（electronic chemicals），也稱為電子化工材料，泛指專為電子工業(yè)配套的精細化工材料，即集成電路、電子元器件、印刷線路板、工業(yè)及消費類整機生產(chǎn)和包裝用各種化學品及材料。電子化學品系化學、化工、材料科學、電子工程等多學科結(jié)合的綜合學科領域。 電子化學品產(chǎn)品和技術范圍非常廣泛。產(chǎn)品按用途可分為微電子化學品、光電子化學品、顯示用化學品、印制線路板用化學品、表面組裝用化學品、 電池化學品等幾大門類。 電子化學品按照不同的應用領域，可以劃分為十幾大類產(chǎn)品。它們通常包括：微細加工的光刻膠、濕電子化學品、電子特種氣體、電子封裝材料、硅片的拋磨光材料、印制線路板用電子化學品、電子塑封材料、無機電子化學品、混成電路用化學品、電容器用材科、稀土化合物材料、電器涂料、導電聚合物及其它電子電氣用化學品、電池材料、平板顯示產(chǎn)業(yè)配套電子化學品等。所涉及到的電子化學品的品種超過16000種，約占整個電子材料總品種數(shù)的65%。電子化學品按使用范圍又可分為微電子化工材料（集成電路和分立器件專用）、印制線路板表面處理與組裝技術用化工材料和顯示器件用化工材料等。 電子化學品上游是基礎化工產(chǎn)品。基礎化工產(chǎn)品對電子化學品的質(zhì)量及生產(chǎn)成本有著重要的影響。電子化學品的下游是電子信息產(chǎn)業(yè)（信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、節(jié)能照明（LED等）、平板顯示、太陽電池、工業(yè)控制、航空航天、軍工等領域），電子信息產(chǎn)業(yè)在一定程度上影響和決定著電子化學品的發(fā)展。因此，電子化學品成為世界上各國為發(fā)展電子工業(yè)而優(yōu)先開發(fā)的關鍵材料之一。 電子化學品產(chǎn)業(yè)鏈如圖1-1所示。 圖1-1 電子化學品的產(chǎn)業(yè)鏈 1.1.2 電子化學品在發(fā)展電子信息產(chǎn)業(yè)中重要地位 隨著技術創(chuàng)新的不斷發(fā)展，電子化學品應用領域也在不斷擴大，已滲透到國民經(jīng)濟和國防建設的各個領域。電子化學品在一定程度上決定或影響著下游及終端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與進步，對于國內(nèi)產(chǎn)業(yè)結(jié)構升級、國民經(jīng)濟及國防建設具有要意義。 目前電子化學品的品種已達上萬種，具有質(zhì)量要求高、用量少、對生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更新?lián)Q代快等特點?！耙淮牧稀⒁淮a(chǎn)品”，有先進的材料，才能生產(chǎn)出先進的產(chǎn)品。新一代電子技術出現(xiàn)，就會有新一代電子化學品與之相適應。 電子技術的發(fā)展離不開與之配套的電子化學品。以微電子工業(yè)用電子化學品為例，它是微電子微細加工技術即集成電路和分立器件制作過程中的關鍵材料，主要包括前工序所用的濕電子化學品（又稱工藝化學品）、電子特種氣體及后工序所用的電子塑封材料等。這些材料質(zhì)量的好壞，直接影響著電子產(chǎn)品性能及質(zhì)量的優(yōu)劣，特別是濕電子化學品、光刻膠和電子特種氣體更是制約微電子微細加工技術發(fā)展的瓶頸。而且隨著電子技術的飛速發(fā)展，對這些材料提出了越來越高的要求?？梢哉f沒有微電子化學品的發(fā)展，就沒有現(xiàn)代電子工業(yè)的飛速發(fā)展。這些微電子化學品在電子技術的發(fā)展中發(fā)揮著其它任何化工材料所不可替代的作用，是現(xiàn)代電子技術發(fā)展的基石。 據(jù)全球電子化學品消費量最新統(tǒng)計數(shù)據(jù)表明，亞太地區(qū)尤其是中國，已成為全球電子業(yè)及其化學品的主導市場。包括陶氏、霍尼韋爾、三菱化學和巴斯夫等公司在內(nèi)的化工企業(yè)競相將電子化學品業(yè)務重點放在亞太地區(qū)。國內(nèi)電子化學品產(chǎn)業(yè)正處于高速發(fā)展期，預計到2017年市場容量將達到400億～450億元，年均增速逾15%。 2017年，全球濕電子化學品市場容量約為208億元，預計未來幾年將維持7%～8%的增速。巨大的市場需求為我國濕電子化學品產(chǎn)業(yè)提供了機遇。20世紀90年代中期以來，我國濕電子化學品工業(yè)迅猛發(fā)展，已占亞洲市場的近三成份額，2013年市場銷售總額24億元左右，預計2017年將達到50億～60億元。中國已是全球第二大集成電路市場，預計2017年集成電路用濕化學品的總年用量估計在16.2萬噸。隨著我國集成電路和光電產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，其對濕電子化學品的需求量將呈不斷攀升態(tài)勢。 1.1.3 電子化學品行業(yè)特點 包括濕電子化學品在內(nèi)的電子化學品，作為傳統(tǒng)化工和電子信息產(chǎn)品的交叉行業(yè)，其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點： （1）品種多、子行業(yè)多。電子化學品品種規(guī)格繁多，據(jù)不完全統(tǒng)計產(chǎn)品品種在2萬余種以上，幾大門類，若干個子類，在電子產(chǎn)品的不同領域中均有所應用，如手機、計算機、電腦、新能源電池等所使用的光刻膠、封裝材料、高純試劑、液晶材料、電池正負極材料、隔膜、電解液等多個子行業(yè)。 （2）專業(yè)跨度大、技術門檻高。電子化學品系化學、化工、材料科學、電子工程等多學科結(jié)合的綜合學科領域，單一產(chǎn)品具有高度專用性、應用領域集中，各種電子化學品之間在材料屬性、生產(chǎn)工藝、功能原理、應用領域之間差異較大，產(chǎn)品之間專業(yè)跨度大。 （3）產(chǎn)品更新?lián)Q代快。電子化學品與下游行業(yè)結(jié)合緊密，新能源、信息通訊、消費電子等下游行業(yè)的快速發(fā)展，勢必要求電子化學品更新?lián)Q代速度不斷加快，企業(yè)科技研發(fā)水平與日俱增。 （4）功能性強、附加值高。電子化學品是電子產(chǎn)業(yè)鏈的前端，其工藝水平和產(chǎn)品質(zhì)量直接對元器件/部件的功能和性狀構成重要影響，進而通過產(chǎn)業(yè)傳導影響到終端整機產(chǎn)品的性能。元器件乃至整機產(chǎn)品的升級換代，有賴于電子化學品的技術創(chuàng)新和進步；電子化學品功能的重要性決定了產(chǎn)品附加值較高、質(zhì)量要求嚴的特點。 （5）市場占有率較高。以上四點決定了細分行業(yè)市場集中度較高，龍頭企業(yè)市場份額較大。電子化學品盡管在下游電子元器件中成本占比很小，但對最終產(chǎn)品性能影響很大，大型下游企業(yè)對原料的質(zhì)量和供貨能力十分重視，常采用認證采購的模式。一般產(chǎn)品得到下游客戶的認證需要2~6年的時間，因此一旦與下游企業(yè)合作，就將形成穩(wěn)定的合作關系。 1.2 濕電子化學品概述 1.2.1 濕電子化學品定義 濕電子化學品（Wet Chemicals）為微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種電子化工材料。 濕電子化學品是超大規(guī)模集成電路、分立器件、液晶顯示器、太陽能電池、LED等制作過程中不可缺少的關鍵性基礎化工材料之一，按照組成成分和應用工藝不同可將工藝化學品分為通用濕電子化學品和功能濕電子化學品。 1.2.2 濕電子化學品品種 （1）通用濕電子化學品 通用濕電子化學品是指在集成電路、液晶顯示器、太陽能電池、LED制造工藝中被大量使用的液體化學品。主要包括過氧化氫、氫氟酸、硫酸、磷酸、鹽酸、硝酸、氫氧化銨、氟化銨、氫氧化鉀、氫氧化納、甲醇、乙醇、異丙醇、丙酮、丁酮、甲基異丁基酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸異戊酯、乙酸（醋酸）、乙二酸（草酸）、甲苯、二甲苯、環(huán)己烷、三氯乙烷、三氯乙烯等。 （2）功能濕電子化學品 功能濕電子化學品是指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類或復配類化學品。主要包括顯影液、剝離液、清洗液、刻蝕液等。由于多數(shù)功能濕電子化學品是復配的化學品，是混合物，它的理化指標很難通過普通儀器定量檢測，只能通過應用手段來評價其有效性。 根據(jù)對國內(nèi)濕電子化學品幾大市場問卷及實地調(diào)查的結(jié)果表明，2017年濕電子化學品國內(nèi)市場需求量的比例如表1-1所示。目前在微電子、光電子產(chǎn)業(yè)用的各類濕電子化學品品種中，通用化學品中雙氧水、高純H2SO4是使用量最大的品種，約占濕電子化學品使用總量的33.1 %；近幾年來功能化學品的需求比例明顯增加，如平板顯示用剝離液與金屬蝕刻液等濕化學品用量也與上述品種不相上下。 表1-1 2017年國內(nèi)主要濕電子化學品市場需求量比例 類別 濕化學品名稱 占濕化學品總需求量的比例 （%） 主要組成成分 同類別濕化學品需求量占比（%） 通用 濕電子 化學品 硫酸 15.3 88 氫氟酸 16 硝酸 14.3 磷酸 8.7 鹽酸 4.8 醋酸 1.9 氫氧化鉀 3.8 氨水 3.7 異丙醇 2.8 雙氧水 16.7 功能 濕電子 化學品 顯影液（液晶面板用） 1.6 TMAH，四甲基氫氧化銨 12 顯影液（半導體用） 2.7 刻蝕液（半導體用） 2.2 HF+NHO3+CH3COOH 剝離液（半導體用） 1.2 緩沖刻蝕液（BOE） 0.9 HF+ NH4F MEA等極性溶液 3.2 對于濕化學品的基本要求是超凈和高純。它廣泛用于超大規(guī)模集成電路，大屏幕、超薄高清晰度液晶顯示器制造、太陽能電池硅片制備等微電子工業(yè)中。 它在半導體芯片、太陽電池硅片、液晶顯示面板加工中起到清洗或蝕刻的兩大功效，達到清除品晶圓表面殘留的有機污染物，降低金屬雜質(zhì)的殘留量的目的。 （1） 清洗 濕電子化學品用于晶圓（在LCD面板中為ITO玻璃）晶圓制作過程中的濕法清洗。目前清洗盡管干法工藝不斷發(fā)展，且在某些應用中具有獨特的優(yōu)勢，但是大多數(shù)晶圓清洗/表面預處理工藝還是濕法。濕法清洗即使用由多種化學物質(zhì)組成的混合溶液，包括氫氟酸、鹽酸、硫酸、磷酸、雙氧水，以及大量用于稀釋與沖洗的去離子水。通常在批浸沒或批噴霧系統(tǒng)內(nèi)對晶圓進行處理，當然還包括日益廣泛使用的單晶圓清洗方法?，F(xiàn)在的趨勢是使用更稀釋的化學溶液，輔之以某種形式的機械能，如超聲波或噴射式噴霧處理等。 濕電子化學品在LCD生產(chǎn)過程中，充當著多次對玻璃基板、鍍膜玻璃清洗的清洗劑的角色。如所使用的玻璃基板在受入前使用濕電子化學品對其清洗干凈；在濺鍍ITO導電膜之前的清洗加工；在涂敷光刻膠等之前都要采用濕電子化學品對玻璃基板進行清洗，以保證對微小顆粒以及所有的無機、有機污染物清除干凈，達到所需要的潔凈精度的要求。 （2） 蝕刻 用于在光刻過程中的蝕刻及最終的去膠（又稱除膠），用于晶圓加工中在其表面需去除的固體物質(zhì)的蝕刻。 所謂的濕法蝕刻是指借助于化學反應從硅圓片的表面去除固體物質(zhì)的過程。它可發(fā)生在全部硅圓片表面或局部未被掩膜保護的表面上，其結(jié)果是導致固體表面全部或局部溶解。濕法蝕刻依蝕刻對象不同可分為絕緣膜、半導體膜、導電膜及有機材料等多種蝕刻。 刻蝕工藝也是TFT制作過程中必不可少的環(huán)節(jié)，通常分為兩種：即干法刻蝕與濕法刻蝕（Wet Etch）。其中以采用濕法刻蝕工藝路線為主流。它是利用電子濕化學品通過化學反應進行刻蝕的方法。濕化學品所構成的剝離液用于去除金屬電鍍或刻蝕加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì)；濕化學品所構成的剝離液在濕法蝕刻過程中將全部基板表面或局部未被掩膜保護的表面上的需要去除的固體表面全部或局部進行溶解，達到從基板表面上剝離的目的。 1.3 濕電子化學品的行業(yè)特點 濕電子化學品產(chǎn)品及行業(yè)的特點，主要表現(xiàn)在如下幾方面： 1.3.1 用途的關鍵性 20世紀60年代末出現(xiàn)了用于集成電路制造的電子級高純專用化學試劑。而電子級高純專用化學試劑當時絕大多數(shù)是應用在集成電路制造過程中的光刻工藝后的去膠；以及前工序生產(chǎn)的清洗、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、去膜等加工的濕法工藝過程中，因此，一類新型的高純化學試劑便產(chǎn)生，人們將它稱為濕電子化學品（又稱超凈高純化學品）。濕電子化學品行業(yè)也由此興起，發(fā)展起來。 濕電子化學品具有質(zhì)量要求高、單個品種用量少、對生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更新?lián)Q代快等特點，其質(zhì)量好壞直接影響到電子信息產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)劣。因此，國外有“一代材料、一代產(chǎn)品”之說。只有先進的材料才能生產(chǎn)出先進的產(chǎn)品，新一代電子信息技術的應用和推廣都必須有新一代電子化學品為基礎與之相適應。 發(fā)展到現(xiàn)今，濕電子化學品應用領域已發(fā)展成為幾大市場（集成電路、太陽能電池、液晶顯示器、LED等）。它在對濕電子化學品在晶圓（半導體集成電路與分立器件用）、對硅電池片（太陽能電池片用）、對LCD面板（液晶顯示用）、對LED芯片制造加工中，充當著清洗與蝕刻的重要功效。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。 1.3.2 行業(yè)的高增長性 現(xiàn)代的濕電子化學品產(chǎn)業(yè)應屬于高附加值、低污染、低排放的高科技產(chǎn)業(yè)。它不同于傳統(tǒng)精細化工企業(yè)，是作為信息技術產(chǎn)業(yè)的配套性、支撐性的重要企業(yè)。濕電子化學品行業(yè)也是一個具有廣闊市場空間的、朝陽行業(yè)。 濕電子化學品在電子信息產(chǎn)品領域中，特別是超大規(guī)模集成電路（IC）、顯示面板、晶硅太陽電池制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一。電子信息行業(yè)的蓬勃發(fā)展，帶動了上游原材料—電子化學品的快速發(fā)展，濕電子化學品正成為我國電子精細化工產(chǎn)業(yè)中發(fā)展最快、并具有很大活力的行業(yè)領域。 1.3.3 品種的多樣性 濕電子化學品市場始終存在產(chǎn)品多規(guī)格、多品種并存的特點。超凈高純試劑種類較多，常用的超凈高純試劑有硫酸、雙氧水、鹽酸、氫氟酸、硝酸、氨水、異丙醇、氟化銨緩蝕溶液等。各種濕電子化學品都有其特定的作用。 濕電子化學品主導產(chǎn)品用量大、技術要求高、貯存有效期短，產(chǎn)品具有強腐蝕性等。在品種的配套性方面，既要將量大面廣品種實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，還需將那些用量不大，但作用關鍵的品種實現(xiàn)一定規(guī)模的生產(chǎn)，以實現(xiàn)電子技術所需化學品的整體配套的供應。未來幾年，濕電子化學品還面臨生產(chǎn)供應—回收—再循環(huán)利用等新的課題。 隨著半導體、液晶顯示、太陽能電池在制造技術上的不斷進步，這三大應用市場對濕電子化學品品種的要求更加表現(xiàn)出多樣化的特點。特別是近幾年，市場的濕電子化學品品種格局發(fā)生了較大的變化。2017年國內(nèi)市場與2016年國內(nèi)濕電子化學品需求市場品種格局相比（見表1-3），傳統(tǒng)酸（堿）性溶液需求量在減少，其它無機酸（氫氟酸、醋酸、磷酸等）的使用量明顯增加。近幾年來新型專用混合酸液（或堿液）品種不斷出現(xiàn)，其需求量比例有著明顯上升。在這方面，濕電子化學品的液晶顯示應用領域更表現(xiàn)突出。 表1-3 2016年與2017年國內(nèi)濕化學品市場需求的各種品種比例對比 產(chǎn)品名稱 需求量所占比例 （%） 2016年 2017年 H2SO4 16.4 % 15.3 % H2O2 15.2% 16.7 % NH4OH 3.8 % 3.7 % HCl 4.1% 4.8% 其它無機酸 （含氫氟酸、硝酸、醋酸、磷酸等） 33.7 % 40.9% 專用溶液（蝕刻劑等） 7.8% 12% 新型濕電子化學品品種 3~5% 8.5~10% 市場需求多樣性的發(fā)展，要求濕電子化學品生產(chǎn)廠家更加貼近下游客戶，做好更長遠的、戰(zhàn)略性的供貨服務（包括在線的技術服務），并需要加大新產(chǎn)品、新混合溶液的開發(fā)工作。 1.3.4 廠商的高壟斷性 電子化學品位于電子產(chǎn)業(yè)鏈的上游，技術壁壘較高，同時由于切換成本較高，因此市場主要集中在美、日、歐等少數(shù)大廠商手中，全球競爭格局相對穩(wěn)定。目前，國際上從事高純電子化學品生產(chǎn)的國家和廠商主要有德國巴斯夫（basf）公司、美國亞什蘭集團、亞什蘭化學公司、美國Arch化學品公司、日本關東化學公司、日本三菱化學、日本京都化工、住友化學、和光純藥工業(yè)、日本stella-chemifa公司、臺灣鑫林科技股份有限公司、韓國東友精細化工有限公司等，上述公司占全球市場份額的85%以上。 濕電子化學品行業(yè)具有一定的技術壁壘和市場壁壘。濕電子化學品的下游半導體行業(yè)和太陽能行業(yè)相對集中，客戶擁有較強的話語權；下游行業(yè)經(jīng)營發(fā)展的周期性，對濕電子化學品市場也會產(chǎn)生影響。 1.4 我國發(fā)展?jié)耠娮踊瘜W品產(chǎn)業(yè)政策 由于濕電子化學品在IC行業(yè)發(fā)展中的重要性突出，我國在政策上鼓勵該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，“十五”、“十一五”期間我國把濕電子化學品的研發(fā)列入“863”計劃；在2008年國家科技部下發(fā)《高新技術企業(yè)認定管理辦法》附件中，明確的列出超凈高純試劑（即濕電子化學品）屬于國家重點支持的高新技術領域。備受業(yè)界關注的我國《石油和化學工業(yè)“十二五”發(fā)展指南》于2011年9月正式發(fā)布。《石化發(fā)展指南》首次提出把培育壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)列為主要任務，爭取到“十二五”末期形成一批以戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)為主導的增長點，把精細和專用化學品率提高到占我國石化總產(chǎn)值中比率的45%以上。與此相關的包括高端專用化學品與化工新材料、生物質(zhì)能源、生物化工、生物基高分子材料、新型煤化工等都被《指南》列入了發(fā)展方向。 我國推出了一系列鼓勵發(fā)展?jié)耠娮踊瘜W品和化學試劑以及下游相關行業(yè)的產(chǎn)業(yè)政策： （1）2006年2月，國務院出臺了《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》 （2006-2020年），列出了一系列重大科學研究計劃，要求在生態(tài)環(huán)境、農(nóng)藥殘留、藥品研發(fā)、食品安全、納米技術、生殖研究、前沿技術、生物技術、新材料技術、清潔能源、基礎研究等多方面列出了重大科學研究計劃，這些都是對化學試劑的現(xiàn)實需求和潛在需求，對試劑行業(yè)的發(fā)展起到促進作用。 （2）2006年8月，信息產(chǎn)業(yè)部發(fā)布的《信息產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展“十一五”規(guī)劃和2020年中長期規(guī)劃綱要》提出“重點發(fā)展與元器件性能密切相關的半導體材料、……電池材料……在電子裝備及元器件中用于支撐、裝聯(lián)和封裝等使用的金屬材料、非金屬材料、高分子材料及各種復合材料等”。 （3）2007年12月，中國化學試劑工業(yè)協(xié)會發(fā)布的《化學試劑第十一個五年規(guī)劃》是化學試劑行業(yè)主要的產(chǎn)業(yè)政策。該規(guī)劃規(guī)劃提出通過大力推進產(chǎn)業(yè)結(jié)構調(diào)整和企業(yè)聯(lián)合經(jīng)營、鞏固和提高傳統(tǒng)化學試劑基礎上大力發(fā)展新品種、建立集科工貿(mào)一體的新型有效快速供給體系、改善產(chǎn)品質(zhì)量提高企業(yè)管理水平等措施，促進我國化學試劑行業(yè)的快速健康發(fā)展。 （4）2008年4月，科技部、財政部、國家稅務總局發(fā)布《高新技術企業(yè)認定管理辦法》及《國家重點支持的高新技術領域》中包含“電子化學品：集成電路和分立器件用化學品；印刷線路板生產(chǎn)和組裝用化學品；顯示器件用化學品。印制電路板（PCB）加工用化學品；超凈高純試劑等”。 （5）2009年4月，國務院辦公廳發(fā)布的《電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整和振關規(guī)劃》提出“加快電子元器件產(chǎn)品升級……提高片式元器件……新型鋰離子電池、薄膜太陽能電池等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)能力，初步形成完整配套、相互支撐的電子元器件產(chǎn)業(yè)體系”。 （6）2011年2月，國務院頒布了《進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，對推動集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的激勵措施及政策導向進行進一步完善，對優(yōu)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，增強科技創(chuàng)新能力，提高產(chǎn)業(yè)發(fā)展質(zhì)量和水平提出具體引導方針，其中提出“在基礎軟件……關鍵材料……芯片設計等領域，推動國家重點實驗室、國家工程實驗室、國家工程中心和企業(yè)技術中心建設，有關部門要優(yōu)先安排研發(fā)項目”。 （7）2011年6月，國家發(fā)改委頒布的《產(chǎn)業(yè)結(jié)構調(diào)整指導目錄（2011年本）》列出了以下鼓勵類產(chǎn)業(yè)目錄：第十一條石化化工“14、改性型、水基型膠粘劑和新型熱熔膠，環(huán)保型吸水劑、水處理劑，分子篩固汞、無汞等新型高效、環(huán)保催化劑和助劑，安全型食品添加劑、飼料添加劑，納米材料，功能性膜材料，超凈高純試劑、光刻膠、電子氣、高性能液晶材料等新型精細化學品的開發(fā)與生產(chǎn)” 以及第二十八條信息產(chǎn)業(yè)“22、半導體、光電子器件、新型電子元器件等電子產(chǎn)品用材料”。 （8）2011年6月，國家發(fā)改委、科技部、商務部、國家知識產(chǎn)權局共同發(fā)布的《當前優(yōu)先發(fā)展的高技術產(chǎn)業(yè)化重點領域指南（2011年度）》中，優(yōu)先發(fā)展的領域包括“電子電器產(chǎn)品限用物質(zhì)替代材料，可降解汽車內(nèi)飾材料技術，材料的可循環(huán)回收技術”。 （9）2011年12月，工信部發(fā)布《石化和化學工業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》，其中提出“十二五”期間石化和化學工業(yè)的整體產(chǎn)品結(jié)構調(diào)整方向，將發(fā)展“功能高分子材料及復合材料、新型專用化學品等高端產(chǎn)品”，將“高性能電子化學品、無鹵阻燃劑、低汞／無汞催化劑等”作為“十二五”高端石化化工產(chǎn)品發(fā)展重點。同時指出，在化工新材料與新型專用化學品領域，將“鼓勵有實力的化工新材料與新型專用化學品生產(chǎn)企業(yè)跨地區(qū)兼并重組，提高企業(yè)規(guī)模，促進產(chǎn)品開發(fā)，形成若干個具有行業(yè)領先地位的高科技企業(yè)”。 （10）2016年工信部發(fā)布了《電子基礎材料和關鍵元器件“十二五”規(guī)劃》， 規(guī)劃中按照國務院加快培育和發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的總體部署，提出“以推動產(chǎn)業(yè)結(jié)構升級為主線，以創(chuàng)新主導價值提升，以優(yōu)化產(chǎn)品性能、降低成本為動力，提高電子材料和元器件產(chǎn)業(yè)競爭力；以量大面廣的產(chǎn)品為突破口，大力推進市場前景廣、帶動作用強、發(fā)展基礎好、具有自主知識產(chǎn)權的電子材料和元器件產(chǎn)業(yè)化發(fā)展”，規(guī)劃的制定和實施為電子材料各相關產(chǎn)業(yè)的升級奠定了政策基礎。 （11）2017年6月，工信部、發(fā)展改革委、科技部、財政部等部門編制了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》，并由國務院正式批準發(fā)布實施。提出“加速發(fā)展集成電路制造業(yè)。……加快45/40nm芯片產(chǎn)能擴充，加緊32/28nm芯片生產(chǎn)線建設，迅速形成規(guī)模生產(chǎn)能力。加快立體工藝開發(fā)，推動22/20nm、16/14nm芯片生產(chǎn)線建設。……以工藝能力提升帶動設計水平提升，以生產(chǎn)線建設帶動關鍵裝備和材料配套發(fā)展。” （12）2017年10月，工信部與發(fā)改委聯(lián)合制定《2017-2016年新型顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展行動計劃》，重點任務之一為完善產(chǎn)業(yè)配套，提升供給水平，提出“發(fā)揮骨干面板企業(yè)對產(chǎn)業(yè)鏈帶動作用，引導面板企業(yè)加強橫向合作，對上游產(chǎn)品實現(xiàn)互信互認，鼓勵面板企業(yè)加大本地材料和設備的采購力度。”同時在產(chǎn)業(yè)鏈提升行動關鍵材料及設備中提出“ 推動高純度（99.999%以上）氨氣、硅烷、氯氣、四氟化鈦氣體及顯影液、蝕刻液、酸性化學試劑等電子化學品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。