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┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 長(zhǎng) 春 大 學(xué) 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）譯文紙 一種先進(jìn)的超精密磨床 蘭迪斯.隆德公司的生產(chǎn)精密機(jī)械的克蘭菲爾德部門，最近生產(chǎn)了一種超精密的端面磨床，該機(jī)床擁有幾個(gè)自動(dòng)監(jiān)控功能。該公司免費(fèi)給克蘭菲爾德大學(xué)的精密工程小組提供機(jī)床，以便他們進(jìn)行研究，特別是里外都完整的無損害的端面區(qū)部分。 本文論述了機(jī)械的設(shè)計(jì)、初加工試驗(yàn)以及可能的研究項(xiàng)目。這些項(xiàng)目將因?yàn)檫@種先進(jìn)的機(jī)械系統(tǒng)的應(yīng)用而受益，系統(tǒng)結(jié)合了最先進(jìn)的自動(dòng)檢測(cè)功能與控制加工過程功能。 關(guān)鍵詞：自動(dòng)檢測(cè) 磨削 機(jī)械設(shè)計(jì) 精密機(jī)器 1 緒論 生產(chǎn)精密機(jī)械的克蘭菲爾德是UNOVA的一個(gè)子公司，它的專長(zhǎng)是用先進(jìn)的原料生產(chǎn)和制造出價(jià)格合理的機(jī)器元件，包括陶瓷、玻璃、金屬互化物及硬質(zhì)合金鋼。克蘭菲爾德大學(xué)是以工業(yè)和制造業(yè)著稱的大學(xué)，它重視與工業(yè)界的密切聯(lián)系，而且現(xiàn)在正在開展超精密的、超高速加工的機(jī)械研究項(xiàng)目，包括超硬材料加工、脆性材料的韌性加工以及汽車產(chǎn)業(yè)的精密加工。這兩個(gè)團(tuán)體互補(bǔ)的研究興趣導(dǎo)致了生產(chǎn)精密機(jī)械的克蘭菲爾德公司設(shè)計(jì)和生產(chǎn)了一種先進(jìn)的超精密端面磨床給屬于SIMS的精密工程研究小組。這使得該小組擁有一系列的研究項(xiàng)目，特別是對(duì)于里外都完整的無損害的端面區(qū)部分。 原料的納米分散加工及控制被看作是一種中期至長(zhǎng)期解決成本和時(shí)間問題的方法，這兩個(gè)問題折磨著電光學(xué)與其它精密零件的制造。例如：易碎原料的延展拋光能夠提供光滑的表面，事實(shí)上，它比一般的材料擁有較高的平滑度和外形精確度[1]。更重要的是,一個(gè)球表面很少或沒有經(jīng)歷表面下的損傷,因此消除了聯(lián)合傳統(tǒng)拋光進(jìn)行后續(xù)拋光的步驟。許多的“微小精密”產(chǎn)品(如半導(dǎo)體、光纖通信系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)輔助系統(tǒng)等),以及較大的被航空、汽車等應(yīng)用的元件的性能越來越依賴于更高的幾何精度和微-納米表面。最近,汽車工業(yè)已經(jīng)顯示了未來對(duì)元件表面的要求，它需要具有幾個(gè)關(guān)鍵的傳輸元件，這種傳輸性能屬于光學(xué)性質(zhì),它的目標(biāo)是用10納米的Ra表面經(jīng)濟(jì)地完成對(duì)硬鋼的直接機(jī)械加工，而且無需對(duì)硬鋼進(jìn)行拋光。玻璃和陶瓷有無損害的表面，硬鋼有光學(xué)性質(zhì)表面，這種條件是非常嚴(yán)格的，它需要(a)一系列的機(jī)械工具，它們不是一般的最好的生產(chǎn)工具，例如，精度高、運(yùn)動(dòng)順暢、環(huán)硬度高[2]；(b)輔助設(shè)備的加入，人、特別是為了適應(yīng)特殊的應(yīng)用，例如砂輪的打磨維修和調(diào)節(jié)；以及(c) 使用正確的磨削技術(shù)（許多的變量—車輪的型號(hào)；冷凍劑；速度；供給等）。所有的條件都必須被滿足，現(xiàn)在能夠滿足這些條件的晶圓磨機(jī)器已經(jīng)生產(chǎn)出來。 2 目標(biāo) 為了滿足上面所提及的表面完整性和生產(chǎn)率的要求,這些要求適用于一系列的元件,主要的發(fā)展目標(biāo)包括: 1）．一個(gè)有高標(biāo)準(zhǔn)（上表面和下表面）完整性的較大的元件產(chǎn)品的機(jī)械加工效率 2）對(duì)易碎材料(眼鏡、陶瓷)優(yōu)先選擇柔軟的方式進(jìn)行機(jī)械加工 3）一個(gè)只有一個(gè)設(shè)置的單一過程來取代典型的三級(jí)研磨、腐蝕和拋光過程，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的生產(chǎn)率。 3過程 這個(gè)過程的一個(gè)主要要求是它應(yīng)該能夠在350毫米直徑元件上進(jìn)行極度平滑表面加工的能力。而且,表面應(yīng)該是光滑的(小于50Ra)以及有最小的表面損傷。理論上，其表面的性質(zhì)應(yīng)接近于拋光表面的性質(zhì)。為了滿足這些嚴(yán)格的要求，旋轉(zhuǎn)磨削已被應(yīng)用。旋轉(zhuǎn)磨削的特性是它不像傳統(tǒng)的表面拋光，它有一個(gè)恒接觸長(zhǎng)度和恒切削力。如圖1所示的磨削原理。砂輪、工件的旋轉(zhuǎn)以及砂輪的軸供給去除工件的表面余量，直到達(dá)到它的最后幾何厚度。 4 本機(jī) 該進(jìn)程和組件的較高要求需要質(zhì)量非常高的環(huán)剛度機(jī)。 研磨機(jī)（圖2）面的設(shè)計(jì)目標(biāo)是： 圖1關(guān)于研磨作業(yè)問題 1. 要求為達(dá)到亞微米亞表面損傷，環(huán)剛度應(yīng)該優(yōu)于200 N /m_1具有良好的動(dòng)態(tài)阻尼。 2. 要實(shí)現(xiàn)總厚度 變化（TTV）的0.5 m公差，控制間距（輪部件的表面）應(yīng)該大于0.333弧秒。 3. 要實(shí)現(xiàn)亞微米亞表面損傷，切深度控制應(yīng)該優(yōu)于0.1 m。 4. 需要軸向誤差議案實(shí)現(xiàn)亞微米亞表面損傷,錠數(shù)應(yīng)該優(yōu)于0.1 m。 5. 測(cè)量與反饋元件厚度為0.5 m，以達(dá)到微米的厚度公差。 在地面幾何平面取決于相對(duì)位置的砂輪和旋轉(zhuǎn)軸工件。圖3顯示的相對(duì)運(yùn)動(dòng)和機(jī)軸。共有11個(gè)軸，再加上三個(gè)數(shù)字遙控加載項(xiàng)（未顯示），隨動(dòng)控制下的所有驅(qū)動(dòng)。 它們是： S1磨削主軸 C Workhead主軸 Z進(jìn)料 X砂輪 S2修整主軸 W軸修整 A傾斜間距 B傾斜偏航 S3驅(qū)動(dòng)洗刷 P探頭厚度 洗刷臂 如下所述，平面精確度可以由旋轉(zhuǎn)軸加上旋轉(zhuǎn)的疊加有適當(dāng)?shù)闹鬏S路線方法實(shí)現(xiàn)。此外，這原型研究納入機(jī)受益于以下國(guó)家的最先進(jìn)的自動(dòng)功能 監(jiān)督和加工過程的控制。 4.1 調(diào)整工件和磨削 轉(zhuǎn)動(dòng)平衡性 因?yàn)榈孛鎺缀伪砻婵擅枋鰩缀畏匠蹋@兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸S1和C中一相對(duì)對(duì)齊（圖3）已進(jìn)行簡(jiǎn)化。研磨進(jìn)程需要平面砂輪和工件的平面要保持作為Z軸進(jìn)給的應(yīng)用之間的特定角度。這是典型的多角度小于1度，使得工件和車輪接近于平行。這個(gè)角度是由三個(gè)測(cè)量LVDT的監(jiān)測(cè)傳感器，測(cè)量位移之間的磨主軸防護(hù)外罩，并就精密加工表面外罩。該測(cè)量傳感器放置在磨削主軸外罩周圍，大約從中心等距離輪子的主軸在車輪平面軸，處于已知的分離位置。從這些傳感器的信息是返回到控制系統(tǒng)修改控制的A - （節(jié)距），B組，（偏航）和Z -（料）軸。這是一個(gè)具有獨(dú)特的保持工件平整度功能的機(jī)器，它減少和亞表面損傷工件表面光潔度并且提高了磨削力。這扭曲影響磨削主軸workhead路線，而當(dāng)時(shí)生產(chǎn)非平坦表面。按照常規(guī)機(jī)械通過機(jī)械調(diào)整對(duì)齊和依靠力量和撓度一般可以均衡。然而，如果在這臺(tái)機(jī)器的工藝條件變化時(shí)，將會(huì)自動(dòng)校準(zhǔn)補(bǔ)償。這可以通過優(yōu)化以適應(yīng)材料和車輪條件在控制系統(tǒng)軟件的變化。 如圖4..所示為Z軸伺服控制功能框圖 超精密磨床641工作面 圖2. 面對(duì)磨床 圖3. 軸的名稱 圖4 Z軸功能框圖 4.2 砂輪 粗加工和精加工的車輪是通過對(duì)一個(gè)軸的專利系統(tǒng)同心安裝,其中包括一前進(jìn)/收回機(jī)制的粗加工輪，如圖5.所示 。 為了最大限度地組成生產(chǎn)量， 將運(yùn)用第一輪來獲得高的材料去除率。進(jìn)行細(xì)粒度砂輪整理，然后用獲得成品尺寸和表面完整性。 圖5單軸雙滾輪系統(tǒng) 4.3 檢測(cè)砂輪聯(lián)系 聲波放射（AE）傳感器用于建立初始 砂輪之間的接觸和組件。由于建立第一個(gè)接觸到非常精細(xì)的限制的重要性，當(dāng)完成磨削，環(huán)傳感器是用于workhead 和磨削主軸。這些都非常敏感，在主軸的正對(duì)面，靠近信號(hào)源。對(duì)機(jī)砂輪修整裝置主軸也是以使聲波放射傳感器“觸摸衣”磨輪。 4.4 磨削力自動(dòng)測(cè)量 通過磨削力測(cè)量傳感器內(nèi)放置力循環(huán)以遠(yuǎn)離外部力量，例如絲杠螺母，及其相關(guān)的摩擦。測(cè)量研磨力度給出了砂輪磨損很好的體現(xiàn)。 4.5 測(cè)量砂輪磨損以及構(gòu)件厚度 砂輪磨損監(jiān)測(cè)組件一起的厚度。一個(gè)特別設(shè)計(jì)的鐵砧和LVDT探頭集會(huì)用來衡量組成部分的厚度。這是所做的最初基準(zhǔn)到鐵砧和探針的多孔陶瓷真空吸盤面臨哪些組件是固定的。 在測(cè)量元件厚度時(shí)，砧是在同一滑道為探針，接觸卡盤基準(zhǔn)與LVDT的探頭使得與面對(duì)面接觸組成部分，從而使一厚度測(cè)量。磨削車輪磨損，可讀出的位置 Z軸以及與這夾頭面對(duì)基準(zhǔn)的地位并且熱增長(zhǎng)是衡量渦流探頭對(duì)安裝在工作砂輪和磨削主軸。任何增長(zhǎng)都會(huì)由自動(dòng)補(bǔ)償調(diào)整相對(duì)兩錠的位置。 4.6 輔助功能 本機(jī)還具有對(duì)機(jī)械零件和設(shè)施夾頭清洗也是從workhead主軸上自控裝卸能力來進(jìn)行自動(dòng)加載和卸載部件。 5 機(jī)器調(diào)試 機(jī)器的服務(wù)包括空氣供給、研磨液供應(yīng)和電機(jī)冷卻供給以及三相電供給?？諝庥梢粋€(gè)高性能的供應(yīng)空調(diào)系統(tǒng),它提供清潔干燥的空氣在13條超過5000 l min-1。內(nèi)面磨床耗氣量約為二零零零升每分鐘，其余為各種空氣凈化和清洗系統(tǒng)。這個(gè)超精密空氣軸承運(yùn)行所需要求空氣過濾和零下40攝氏度的溫度。循環(huán)冷卻水的供應(yīng)是由壓力泵提供的。 由循環(huán)水冷卻供應(yīng)。這是泵45條在流率達(dá)100磅min/1。冷卻劑是分配給各冷卻液噴嘴單個(gè)控制下,機(jī)械加工的要求。用于冷卻收集,然后送入主要冷卻水箱,通過一個(gè)未燃盡的泵。有些水性碎片(工件和砂輪的殘留)解決下,其余的是在這里拆卸過濾到不同的階段。 服務(wù)提供過程中需要一種控制流體分布,連同適當(dāng)?shù)陌踩?lián)鎖和監(jiān)控系統(tǒng)。 5.1 控制系統(tǒng) 控制系統(tǒng)分兩部分,基于一個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)可編程序控制器(PLC)和精密數(shù)控系統(tǒng)。機(jī)器的I / O在一個(gè)分布式系統(tǒng)伺服器里。雙絞信號(hào)電纜控制了一個(gè)光纖環(huán)。采用的PLC程序需要小修改調(diào)試,大部分調(diào)試集中在進(jìn)一步發(fā)展的數(shù)控程序中,特別是磨感應(yīng),打磨維修及研磨作業(yè)。 5.2 機(jī)器研磨前準(zhǔn)備 在研磨作業(yè)中評(píng)估系統(tǒng)能力的重要參數(shù)： 　　1.機(jī)器的系列 　　2.平衡的主軸 　　3.車輪的條件 　　4.冷卻劑的應(yīng)用 　　5.控制機(jī)器的運(yùn)動(dòng) 　這是解決對(duì)磨削表面粗糙度最主要的因素。 5.3 機(jī)器運(yùn)行路線 在機(jī)床制造商已經(jīng)對(duì)大多數(shù)機(jī)器系列進(jìn)行了精確計(jì)量檢定，這些是已經(jīng)證實(shí)的。然而,臨界對(duì)齊數(shù)據(jù)(對(duì)齊軸和磨輪主軸軸心)已經(jīng)丟失,自從磨輪主軸被刪除后,這臺(tái)機(jī)器已經(jīng)被搬離精密工程實(shí)驗(yàn)室。這個(gè)對(duì)齊數(shù)據(jù)必須重新利用微型車，用電渦流探測(cè)器(測(cè)量范圍廣大約6微米)安裝在磨輪主軸的面罩上。一個(gè)特殊目的是，把對(duì)齊的工作軸裝在跳面板上。測(cè)量距離變化的探針從功能上調(diào)整,這兩個(gè)軸連接的紡錘都獨(dú)立的旋轉(zhuǎn),允許角對(duì)齊的兩錠軸,采用最小二乘法利用多參數(shù)診斷法。 圖6 磨床主軸受橫向外力的時(shí)振幅 圖7磨床主軸受縱向外力時(shí)的振幅 5.4 車輪平衡 本機(jī)配置使這個(gè)磨輪主軸自動(dòng)平衡。這包括使機(jī)器適應(yīng)自動(dòng)選擇磨輪。對(duì)這個(gè)磨輪主軸進(jìn)行分割,包括兩個(gè)同心圓粗糙度和細(xì)粒度、讓粗糙的輪子有稍大點(diǎn)的直徑。粗輪子可以自動(dòng)選擇平行滑動(dòng)的主軸軸心,在空中由活塞控制,包括兩聯(lián)軸器。這兩種結(jié)構(gòu),用粗、細(xì)輪選中,在稍微不同的失衡的時(shí)刻,通過自動(dòng)平衡來補(bǔ)償。 圖6和圖7數(shù)據(jù)顯示的是振幅和相位發(fā)生反應(yīng)平衡(位移）傳感器在水平方向,位于磨輪主軸的軸頸,沿X軸顯示,包括位移磨輪主軸轉(zhuǎn)動(dòng)速率。在Y軸代表了當(dāng)時(shí)實(shí)際峰峰值位移和研磨主軸的轉(zhuǎn)速。獲得這些數(shù)據(jù)后，機(jī)床可以自動(dòng)調(diào)整主軸平衡。在1200轉(zhuǎn)左右（或20赫茲）時(shí)可以看到機(jī)床有一個(gè)很強(qiáng)有力的共振響應(yīng)。圖8振幅的反應(yīng)平衡，在位移傳感器的垂直方向，完全沒有了共振峰。隨后的數(shù)據(jù)顯示，該共振源是在“B”傾斜砂輪軸上（垂直軸），如圖3所示，這只是一個(gè)水平方向的傳感器。這個(gè)圖說明車輪平衡也是至關(guān)重要的。 圖8 磨床主軸垂直方向的平衡力的振幅 圖9調(diào)整主軸受橫向平衡力的振幅 圖9所示的是水平的響應(yīng),主軸精細(xì)的平衡。在轉(zhuǎn)速達(dá)到4000轉(zhuǎn)（或者67赫茲）是，在水平方向同樣有一個(gè)明顯的振動(dòng)。這個(gè)主軸安裝在X軸上，而振動(dòng)也發(fā)生在X軸上。再一次說明這是源于運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)方向。雖然修正了主軸的外觀，但是對(duì)于磨削主軸平衡性能來說還是有一定得影響。平衡運(yùn)動(dòng)要將一個(gè)小規(guī)模的循環(huán)對(duì)應(yīng)砂輪,而這也就會(huì)反過來影響研磨質(zhì)量。 5.5 車輪條件 這臺(tái)機(jī)器上，輪子的形式是通過整形傳授操作的，條件是保持車輪的狀態(tài)，通過以后的敷料，在修整業(yè)務(wù)之間的操作相對(duì)較少。 5.6 冷卻劑的應(yīng)用 把相當(dāng)大的力集中對(duì)準(zhǔn)冷卻液噴嘴，是為了提供足夠的冷卻劑進(jìn)入磨削界面。在這里，磨削弧的接觸是那么長(zhǎng)，大約在200毫米一個(gè)200毫米晶圓，這是個(gè)特別重要的地方。 5.7 運(yùn)動(dòng)控制 通過新磨例程和復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)剖面，來制定磨削。一個(gè)完整的周期包括晶圓研磨粗略的初步研磨，由每個(gè)研磨階段研磨完成后，工作和磨削主軸被設(shè)置為旋轉(zhuǎn)，然后應(yīng)，冷卻液。磨削主軸在檢測(cè)工作結(jié)束后，迅速進(jìn)入到聲發(fā)射傳感器觸摸。然后迅速減速，此外主軸，在三個(gè)階段，保持較低的進(jìn)給速度。最后，經(jīng)過一?。ɑ鸹ǔ觯r(shí)，磨削主軸收回。 這種材料的加工序列很復(fù)雜，同時(shí)促使運(yùn)動(dòng)的A和B軸傾斜。完全平面磨削下，跌可能會(huì)導(dǎo)致的結(jié)果是非平面研磨。為了實(shí)現(xiàn)在完成平面的表面上看來，小角度之間必須是主軸的第一次接觸軸，而且這個(gè)角度在逐漸減少到零（名義上）。進(jìn)一步修改議案的進(jìn)料來實(shí)行這三個(gè)點(diǎn)測(cè)量結(jié)果，其中監(jiān)視器，在進(jìn)程中，高靜磨削力會(huì)撓度本機(jī)。該測(cè)量?jī)x測(cè)量，要求整個(gè)研磨過程修改主軸之間的角度。 6 初步磨削試驗(yàn) 初步磨削試驗(yàn)是在單晶硅上進(jìn)行的，使用直徑為200毫米的圓片。初步磨削試驗(yàn)中所用的參數(shù)是依據(jù)大范圍的硅磨削研究實(shí)驗(yàn)而選定的。車輪速度是依據(jù)所產(chǎn)生的機(jī)械共振最小而選定的（如圖6和9所示），即砂輪轉(zhuǎn)速2000轉(zhuǎn)每分，修整輪轉(zhuǎn)速5100轉(zhuǎn)每分，同時(shí)仍保持足夠的磨削效率。對(duì)于粗磨而言，總磨削深度的要求是根據(jù)消除晶片上任何沖濺的需要而設(shè)定的，而對(duì)于修整而言，則是根據(jù)消除在粗磨過程中產(chǎn)生的亞表面損傷的需要而設(shè)定的。相對(duì)修整輪速也相應(yīng)設(shè)定，以便避免一個(gè)非整數(shù)比。修整，粗磨和精磨的參數(shù)如表1-3所示。 一個(gè)輪廓形式跟蹤表明，在粗磨操作中獲得的的表面粗糙度約200納米。其他測(cè)量表明亞表面損傷深度約5微米，正是這種亞表面損傷深度支配著精磨操作的加工磨削量的總額。 在這些初步加工試驗(yàn)中，表面加工完成后晶片表面的外觀十分好（圖10）。非常微弱的“殘影”弧形線條是可辨別的，盡管它們?cè)谳喞粉欀胁幻黠@，在照片中也不可見。 然而，他們所做的顯示了一種循環(huán)模式，這是砂輪旋轉(zhuǎn)速度和工件的旋轉(zhuǎn)率的一種結(jié)果，即它們的結(jié)果是任何一次失衡都會(huì)擴(kuò)大磨輪主軸的影響。在磨削的過程中，外觀的保養(yǎng)是通過最大限度的增大晶圓旋轉(zhuǎn)速率來優(yōu)化的，即使這會(huì)稍微加重所測(cè)量的表面的粗糙度。以上所表了一種妥協(xié)；使用現(xiàn)在的配置和工具，最好的表面粗糙度大約是10納米R(shí)a，它能夠在非常低的工件旋轉(zhuǎn)率( 1 rpm)條件下獲得，即使這樣做會(huì)使外觀的保養(yǎng)更糟糕，這都是因?yàn)橐怀鐾庥^的循環(huán)模式。 圖10 200毫米晶圓的表面 - 15納米R(shí)A。 超精密磨床645工作面 表1.修整參數(shù) 修整輪型鍍輪 ZD107N200g 修整輪直徑 180 mm 修整輪轉(zhuǎn)速 5100 RPM (48.05 m s_1) 供給速度為 40 微米每秒 首先磨削進(jìn)給速度 5 微米每秒 第二磨削進(jìn)給速度 0.3微米每秒 共有加工深度 20微米 砂輪轉(zhuǎn)速 2000 rpm 表2 粗磨參數(shù) 輪式46米樹脂 VD46-C75-B117 車輪直徑 370 mm 輪速 2000 rpm (38.75微米每秒) 進(jìn)給速度 150微米每秒 首先磨削進(jìn)給速度 2微米每秒 第二磨削進(jìn)給速度 1微米每秒 第三磨削進(jìn)給速度 0.5微米每秒 共有加工深度 15微米 工作速度 10 rpm 表3 精細(xì)研磨參數(shù) 輪式6 / 12，樹脂結(jié)合劑 AD6/12-C75-B118 車輪直徑 305 mm 輪速 1800 rpm (28.75微米每秒 進(jìn)給速度 80微米每秒 第一磨削進(jìn)給速度 1微米每秒_1 第二磨削進(jìn)給速度 0.2微米每秒_1 第三磨削進(jìn)給速度 0.05微米每秒1 共有加工深度 8微米每秒 工作速度 200 rpm 7 機(jī)器的評(píng)估 晶圓端面磨床產(chǎn)生了一些令人印象深刻的結(jié)果，由于該方案的時(shí)間短，進(jìn)程的發(fā)展很有限。 8 方案的研究 這臺(tái)機(jī)器目前正在克蘭菲爾德大學(xué)精密工程實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行最后的調(diào)試，包括下面列出的一些方案的研究，已確定這將有利于從研磨機(jī)直接加工的可行性。 8.1 微加工與壓電陶瓷 例如鉛壓電陶瓷的鋯基鈦酸系統(tǒng)提所供的能力，和高精度高剛度能力所產(chǎn)生的耦合運(yùn)動(dòng)高力。 8.2 監(jiān)測(cè)過程中磨削表面的完整性 這項(xiàng)計(jì)劃的目的是優(yōu)化磨削參數(shù)材料而使切除率最大化，同時(shí)為了確保韌性材料去除機(jī)制占主導(dǎo)地位。 8.3 高效精密磨削的硬質(zhì)合金 這些材料中加工最困難的是硬質(zhì)合金，它是需要一種特殊的耐磨性和韌性的結(jié)合工具來加工。 9 結(jié)論 先進(jìn)材料和元器件廣泛的應(yīng)用提高了一個(gè)先進(jìn)的機(jī)械工具的廣泛可用性，機(jī)器的過程監(jiān)控和自動(dòng)監(jiān)控功能將優(yōu)化工藝開發(fā)模型。 參考資料 1. 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Shaw, Principles of Abrasive Processing, Oxford University Press, New York. 1996. 共 14 頁 第 14 頁 序號(hào)（學(xué)號(hào)）： 010640502 長(zhǎng) 春 大 學(xué) 畢 業(yè) 設(shè) 計(jì)（論 文）譯文 An Advanced Ultraprecision Face Grinding Machine 姓 名 李楠 學(xué) 院 機(jī)械工程學(xué)院 專 業(yè) 機(jī)械工程及自動(dòng)化 班 級(jí) 0106405 指導(dǎo)教師 李占國(guó) 教授 2010 年 03 月 15 日 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 長(zhǎng) 春 大 學(xué) 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）紙 電動(dòng)扳手設(shè)計(jì) [摘要] 在大型鋼結(jié)構(gòu)建筑中，廣泛使用高強(qiáng)度螺栓鏈接。這種螺栓連接，在施工中要求用規(guī)定的擰緊力矩鎖緊螺母，以保證鏈接的可靠性。 由于高強(qiáng)度螺栓的材料和熱處理是嚴(yán)格控制和檢查的，因此螺栓定力矩切口處的扭剪斷裂力矩能夠控制在一個(gè)比較準(zhǔn)確的范圍，從而能保證螺栓連接的可靠性。當(dāng)擰緊力矩過大時(shí)，不能保證螺栓的強(qiáng)度；當(dāng)擰緊力矩過小時(shí)，又不能保證連接的可靠性。因此這種螺栓連接，在施工中要求用規(guī)定的擰緊力矩鎖緊螺母，以保證鏈接的可靠性。另外，高強(qiáng)度螺栓往往成批使用，并且工作的環(huán)境也比較堅(jiān)苦，如果是用普通扳手進(jìn)行定力矩?cái)Q緊，工人擰緊螺母的過程中會(huì)有很多不便，工作效率也會(huì)很低。綜合以上三點(diǎn)原因，在擰緊高強(qiáng)度螺栓時(shí)，我們采用電動(dòng)扳手代替手從扳手進(jìn)行擰緊。 電動(dòng)扳手以220V交流電源為動(dòng)力進(jìn)行工作，可以保證每個(gè)螺栓的擰緊力都在規(guī)定的范圍內(nèi)，同時(shí)，采用電動(dòng)扳手代替手動(dòng)扳手可以大大提高螺栓擰緊的速度，提高工人的工作效率，改善工人的勞動(dòng)強(qiáng)度 [關(guān)鍵詞] 電動(dòng)扳手 諧波傳動(dòng) 柔輪 Electric Wrench Design [Abstract] In large steel structures, widely used in high strength bolts links. This bolt connection, in accordance with requirements of the construction of torque lock nut and to guarantee the reliability of the link. Due to the high strength bolts of material and heat treatment is strict inspection and control, thus shall the bolt torque incision torshear fracture in a moment can control the accuracy and can guarantee, the reliability of the bolt connection. When large torque, cannot guarantee the strength bolt, When the torque, and after hours cannot guarantee the reliability of the connection. Therefore the bolt connection, in accordance with requirements of the construction of torque lock nut and to guarantee the reliability of the link. Additionally, high strength bolts, and often used to working environment is hard, and if it's used for torque wrench on ordinary workers, tighten lock nut process will have a lot of inconvenience, the working efficiency is also very low. Three reasons, in comprehensive above tighten high strength bolts, we adopt electromotive spanner from wrench to replace hand tighten. Electromotive spanner to ac power for power on 220V work, can guarantee each bolt tightened force within a prescribed scope, at the same time, using electric wrench instead of manual wrench screw bolts can greatly improve the speed, improve work efficiency, improve the worker labor intensity [Key words] Electric wrench Harmonic Drive Flexspline ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 長(zhǎng) 春 大 學(xué) 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）報(bào)告紙 開題報(bào)告 一、 設(shè)計(jì)題目： 電動(dòng)扳手設(shè)計(jì) 二、 課題研究的目的和意義： 在生產(chǎn)生活中，螺栓連接是一種普遍可靠的鏈接方式。并且在大型鋼結(jié)構(gòu)建筑中，廣泛使用高強(qiáng)度螺栓鏈接。這種螺栓連接，在施工中要求用規(guī)定的擰緊力矩鎖緊螺母，以保證鏈接的可靠性。 由于高強(qiáng)度螺栓的材料和熱處理是嚴(yán)格控制和檢查的，因此螺栓定力矩切口處的扭剪斷裂力矩能夠控制在一個(gè)比較準(zhǔn)確的范圍，從而能保證螺栓連接的可靠性。 另外，電動(dòng)扳手以220V交流電源為動(dòng)力進(jìn)行工作，對(duì)于作業(yè)通常以螺栓群的方式出現(xiàn)高強(qiáng)度螺栓，可以大大提高螺栓擰緊的速度，并且可以改善工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。 三、 國(guó)內(nèi)外狀況和發(fā)展趨勢(shì)： 電動(dòng)扳手自1980年研制成功并投入批量生產(chǎn)以來，至今已經(jīng)有20余載，生產(chǎn)了幾千臺(tái)，廣泛應(yīng)用于寶鋼自備電廠、寶鋼煉鋼廠房、天津無縫鋼管廠、包鋼等幾十項(xiàng)大型鋼結(jié)構(gòu)工程中，為我國(guó)推廣使用扭剪型高強(qiáng)度螺栓新技術(shù)提供了有力保證。 在長(zhǎng)期的使用中，電動(dòng)扳手充分發(fā)揮了它的設(shè)計(jì)有點(diǎn)——體積小、重量輕、操作方便快捷、安全可靠，從而使電動(dòng)扳手成為施工現(xiàn)場(chǎng)不可缺少、不可替代的專用工具。從總體上看，電動(dòng)扳手基本上可在設(shè)計(jì)壽命范圍正常工作，無需大修，施工現(xiàn)場(chǎng)也未發(fā)生任何由于漏電等原因引起的安全事故，從而得到使用單位的好評(píng)。 個(gè)別的電動(dòng)扳手，在使用中曾發(fā)生柔輪筒體底部斷裂失效的現(xiàn)象，這一事實(shí)驗(yàn)證了柔輪光彈性試驗(yàn)得到的結(jié)論——柔輪工作時(shí)的切應(yīng)力及殼壁內(nèi)的正應(yīng)力的最大值均發(fā)生在柔輪的根部（并有應(yīng)力集中的影響），根部是最危險(xiǎn)的截面。因此，改善柔輪根部的結(jié)構(gòu)和加工品質(zhì)是提高強(qiáng)度和使用壽命的關(guān)鍵措施。 多年的生產(chǎn)實(shí)踐表明，自行研制的電動(dòng)扳手成功替代了進(jìn)口產(chǎn)品，為國(guó)家節(jié)省了大量外匯，也為生產(chǎn)研制單位帶來了可觀的經(jīng)濟(jì)效益。 四 畢業(yè)設(shè)計(jì)方案的擬定 電動(dòng)扳手與機(jī)床、汽車等大型機(jī)器比較起來雖然比較小巧簡(jiǎn)單，但也是一種完整的機(jī)器，它應(yīng)該由動(dòng)力機(jī)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和工作機(jī)構(gòu)組成。 根據(jù)前述設(shè)計(jì)任務(wù)要求，動(dòng)力機(jī)應(yīng)選用電源為220V的交流電機(jī)。 由于電動(dòng)扳手為人工操作，因此電動(dòng)機(jī)應(yīng)該體積小、重量輕、絕緣好，以便于操作，并保證人身安全。大功率高轉(zhuǎn)速防護(hù)式串激電機(jī)能基本滿足這個(gè)要求。這種電機(jī)在制造中采用滴浸泡轉(zhuǎn)子，電焊整流子等新工藝，外殼采用熱固性工程塑料，電樞為接軸，從而形成雙重絕緣結(jié)構(gòu)，使用電安全有保證。 a) b) c) 圖2 扳手使用方法示意圖 1-12角夾緊頭 2-定力矩切口 3-螺栓部分 4-螺母 5-墊片 6-被緊固體 7-內(nèi)套筒 8-外套筒 9-頂桿 電動(dòng)扳手的工作機(jī)構(gòu)為擰緊螺母的外套筒8和擰斷螺栓（在定力矩切口處）的內(nèi)套筒7，如圖2所示。工作時(shí)這兩個(gè)套筒的力矩相等，方向相反。如果利用這個(gè)特點(diǎn)，將傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成封閉系統(tǒng)，兩個(gè)相反的力矩就可以在電動(dòng)扳手內(nèi)部平衡，操作者不受外力的作用，從而使操作變得輕便、簡(jiǎn)單。 由于動(dòng)力機(jī)采用了高轉(zhuǎn)速、小轉(zhuǎn)矩的電動(dòng)機(jī)，因此動(dòng)力機(jī)與工作機(jī)構(gòu)（套筒）之間就需要采用大傳動(dòng)比傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。行星齒輪傳動(dòng)（NGW型單機(jī)傳動(dòng)比i=3~12）、漸開線少齒差齒輪傳動(dòng)（單機(jī)傳動(dòng)比i=10~100）、擺線少齒差齒輪傳動(dòng)（單級(jí)傳動(dòng)比i=11~87）和活齒少齒差齒輪傳動(dòng)（單級(jí)傳動(dòng)比i=20~80）等如果用語電動(dòng)扳手，均需多級(jí)串聯(lián)使用，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，力線較長(zhǎng)，會(huì)引起系統(tǒng)剛度下降、運(yùn)動(dòng)鏈累計(jì)誤差較大，這是不利的。因此，少齒差齒輪傳動(dòng)，其行星輪的軸線做圓周運(yùn)動(dòng)，他們都需要一個(gè)運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，因此結(jié)構(gòu)復(fù)雜，這也是不足之處。 諧波齒輪傳動(dòng)通過柔輪的彈性變形，利用了內(nèi)嚙合少齒差傳動(dòng)可獲得大速比的原理，將行星輪系的運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化為低速構(gòu)件具有固定的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線，不需要等角速比機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)直接輸出。因此諧波傳動(dòng)具有速比大（i可達(dá)500），機(jī)構(gòu)件數(shù)量少，體積小重量輕，運(yùn)轉(zhuǎn)平衡，效率高，無沖擊等優(yōu)點(diǎn)。電動(dòng)扳手?jǐn)嗬m(xù)、短時(shí)的工作特點(diǎn)恰好克服了柔輪由于變形而易產(chǎn)生疲勞斷裂的不足。諧波齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)作為動(dòng)力傳遞時(shí)其輸出轉(zhuǎn)矩的大小受柔輪尺寸的限制，故不宜將其設(shè)計(jì)為電動(dòng)扳手的最終輸出。 綜合上述的分析，采用諧波齒輪傳動(dòng)與行星輪系傳動(dòng)串聯(lián)的設(shè)計(jì)是一種比較全面地、最大限度地滿足電動(dòng)扳手工藝要求的最佳選擇。 從上述電動(dòng)扳手的發(fā)展趨勢(shì)來看，電動(dòng)扳手的設(shè)計(jì)要點(diǎn)集中在電動(dòng)機(jī)的選擇和傳動(dòng)形式的確定。在滿足輸出力矩（1010N.m）要求的前提下，盡量使整機(jī)體積小，重量輕，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，安全可靠。據(jù)此，初步確定電動(dòng)扳手機(jī)構(gòu)方案簡(jiǎn)圖如圖1所示。電動(dòng)扳手整機(jī)由電動(dòng)機(jī)1、定軸齒輪傳動(dòng)2、諧波齒輪傳動(dòng)3、NGW行星齒輪傳動(dòng)4、外套筒5和內(nèi)套筒6組成。外套筒5用來把住螺母4，內(nèi)套筒用來把住高強(qiáng)度螺栓尾部的梅花頭，如圖2所示。圖1中的、、是 圖1 電動(dòng)扳手機(jī)構(gòu)方案簡(jiǎn)圖 1-電動(dòng)機(jī) 2-定軸齒輪傳動(dòng) 3-諧波齒輪傳動(dòng)4-NGW行星齒輪傳動(dòng) 5-外套筒6-內(nèi)套筒 定軸齒輪傳動(dòng)的齒數(shù)；和是諧波傳動(dòng)剛輪和柔輪的齒數(shù)；是諧波發(fā)生 器；a、g、b和H是NGW行星齒輪傳動(dòng)的太陽輪、行星輪、內(nèi)齒輪和轉(zhuǎn)臂。這是一種行星輪系與諧波輪系雙差動(dòng)串聯(lián)機(jī)構(gòu)方案，其原理可作如下分析： 諧波齒輪傳動(dòng)輪系的自由度F可用下式計(jì)算： 式中 ——平面機(jī)構(gòu)的構(gòu)件數(shù)： ——機(jī)構(gòu)中的低副數(shù)； ——機(jī)構(gòu)中的高副數(shù)。 鑒于圖2電動(dòng)扳手機(jī)構(gòu)中各構(gòu)件的回轉(zhuǎn)軸均互相平行，因此該機(jī)構(gòu)可視為平面機(jī)構(gòu)。 對(duì)于諧波齒輪傳動(dòng)：=4，=3，=1，其自由度為 對(duì)于行星輪系，其自由度也為2。因此在無任何約束條件下，兩機(jī)構(gòu)均為自由度等于2的差動(dòng)機(jī)構(gòu)。由此機(jī)構(gòu)組成的電動(dòng)扳手?jǐn)Q緊螺栓的過程分兩階段： 階段1：在螺栓、螺母與扳手處于松動(dòng)狀態(tài)時(shí)，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自由度為2的差動(dòng)運(yùn)動(dòng)，即內(nèi)外套筒同時(shí)反向旋轉(zhuǎn)。 階段2：當(dāng)夾緊力增大到一定值后，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自由度為1的NGW型行星傳動(dòng)，即外套筒固定，內(nèi)套筒繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，直到擰斷螺栓的梅花頭。 采用差動(dòng)機(jī)構(gòu)的目的： （1）、為消除內(nèi)套筒與螺栓梅花頭、外套筒與螺母之間的安裝角度誤差，電動(dòng)扳手必須具備可手動(dòng)調(diào)節(jié)內(nèi)、外套筒產(chǎn)生相對(duì)角位移，確保內(nèi)、外套筒順利地進(jìn)入工作的準(zhǔn)備位置。 （2）設(shè)計(jì)時(shí)，為讓出中心頂桿的位置，電機(jī)與傳動(dòng)系統(tǒng)不可“一”字布置。實(shí)際中采用的并列布置造成機(jī)殼形狀復(fù)雜。因此設(shè)計(jì)中將剛輪與內(nèi)齒輪聯(lián)接成整體，構(gòu)成差動(dòng)機(jī)構(gòu)，可使內(nèi)、外套筒及相關(guān)輪系結(jié)構(gòu)之間形成封閉力線，從而機(jī)殼不承受外力矩，則機(jī)殼的加工性能大大改善。 按上述機(jī)構(gòu)方案設(shè)計(jì)的電動(dòng)扳手，其操作步驟（圖1）如下： 1） 高強(qiáng)度螺栓預(yù)緊在被緊固件上，如圖1a所示； 2） 將內(nèi)套筒插人螺栓尾部的梅花頭，然后微轉(zhuǎn)外套筒，使其與螺母套正，并推到螺母根部，如圖1b所示； 3） 接通電源開關(guān)，內(nèi)外套筒背向旋轉(zhuǎn)將螺栓緊固，待緊固到螺栓達(dá)到設(shè)計(jì)力矩時(shí)，將梅花頭切口扭斷； 4） 關(guān)閉電源，將外套筒脫離螺母，用手推動(dòng)開關(guān)上前方的彈射頂桿觸頭9，將梅花頭從內(nèi)套筒彈出，緊固完畢，如圖1c所示。 五 課題研究的時(shí)間分配： 3月 1 日 - 3 月15日 調(diào)研、閱讀分析資料、譯文 3月16日 - 3月30 日 開題報(bào)告、制定合理方案 4月 1 日 - 4月20 日 理論計(jì)算、繪制總裝配圖 4月21日 - 6月 1日 零件圖、修改裝配圖 6月 2 日 - 6月12 日 撰寫設(shè)計(jì)說明書 6月13日 - 6月25 日 設(shè)計(jì)評(píng)審、準(zhǔn)備答辯 六 參考文獻(xiàn)： [1] 錢中主編.列車牽引計(jì)算.第一版.北京：中國(guó)鐵道出版社，1996 [2] 張文質(zhì)等主編.起重機(jī)設(shè)計(jì)手冊(cè).第一版.北京：中國(guó)鐵道出版社，1998 [3] 馬鞍山鋼鐵設(shè)計(jì)院等編.中小型軋鋼機(jī)設(shè)計(jì)計(jì)算.北京：冶金出版社，1979 [4] 陳立周.飛剪機(jī)剪切機(jī)構(gòu)的合理設(shè)計(jì).北京：北京鋼鐵學(xué)院學(xué)報(bào) 1980，（1） [5] Simon，J.M.Computerized Synthesis of Straight Line Four-Bar Linkages from Inflection Circle Properties . 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